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J-GLOBAL ID：200903096335288370

光偏向素子及びその製造方法

Inventor：
大高 和雄

About 大高 和雄


Applicant, Patent owner：
ミヨタ株式会社

About ミヨタ株式会社


Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000306378
Publication number (International publication number)：2002116402
Application date： Oct. 05, 2000
Publication date： Apr. 19, 2002
Summary：
【要約】【課題】 製造が容易で反りの少ない光偏向素子を提供する。【解決手段】一つの基板面内に形成され、複数の互いに運動方向の異なるばね部と、このばね部に支持され、互いに拘束されない運動をしうる互いに直交する軸を支点として二次元の回転運動をする二つの可動部と、可動部に形成される反射鏡と、二つの可動部上に導電コイルパターンを形成して構成される光偏向素子において、一つの可動部に形成される導電コイルパターンと他の可動部に形成される導電コイルパターンは基板面の表裏に分けて形成する光偏向素子とする。
Claim (excerpt)：
一つの基板面内に形成され、複数の互いに運動方向の異なるばね部と、このばね部に支持され、互いに拘束されない運動をしうる互いに直交する軸を支点として二次元の回転運動をする二つの可動部と、可動部に形成される反射鏡と、二つの可動部上に導電コイルパターンを形成して構成される光偏向素子において、一つの可動部に形成される導電コイルパターンと他の可動部に形成される導電コイルパターンは基板面の表裏に分けて形成されることを特徴とする光偏向素子。
IPC (3)：
G02B 26/10 104 ,  B81B 3/00 ,  G02B 26/08
FI (3)：
G02B 26/10 104 Z ,  B81B 3/00 ,  G02B 26/08 E
F-Term (9)：
2H041AA12 ,  2H041AB14 ,  2H041AC04 ,  2H041AZ01 ,  2H041AZ08 ,  2H045AB13 ,  2H045AB16 ,  2H045AB62 ,  2H045AB73
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (6)
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