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J-GLOBAL ID：200903098932641041

アクリル系重合体および感放射線性樹脂組成物

Inventor：
藤原 考一

About 藤原 考一

, 
山口 宙志

About 山口 宙志

, 
中村 敦

About 中村 敦


Applicant, Patent owner：
JSR株式会社

About JSR株式会社


Agent (1)： 和気 操
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2004227547
Publication number (International publication number)：2005068418
Application date： Aug. 04, 2004
Publication date： Mar. 17, 2005
Summary：
【課題】 レジスト溶剤への溶解性に優れ、ベーク温度依存性が少なく、また現像後のパターンのラインエッジラフネスを低減する。【解決手段】 式(1)と、式(2)と、式(3)および/または式(4)とを含有することを特徴とする。【化1】 R、R’、R''、およびR'''は水素原子、メチル基、またはトリフルオロメチル基を、R1は、水素原子、炭素数1〜4の直鎖状あるいは分岐状のアルキル基、アルコキシ基、または、炭素数1〜4の直鎖状あるいは分岐状のフッ素化アルキル基を、Xは炭素数7〜20の炭素原子および水素原子のみからなる多環型脂環式炭化水素基を、R2およびR3は相互に独立に炭素数1〜4の直鎖状または分岐状のアルキル基を、R4は炭素数4〜20の脂環式炭化水素基を、R5は炭素数1〜4の直鎖状または分岐状のアルキル基を、R6およびR7は水素原子、または炭素数1〜4の直鎖状または分岐状のアルキル基をそれぞれ表す。【選択図】 無
Claim (excerpt)：
式(1)で表される繰り返し単位(i)と、式(2)で表される繰り返し単位(ii)と、式(3)で表される繰り返し単位および式(4)で表される繰り返し単位から選ばれる少なくとも一つの繰り返し単位(iii)を含む酸解離性基含有単位とを含有するアクリル系重合体。
IPC (4)：
C08F220/10 ,  G03F7/033 ,  G03F7/039 ,  H01L21/027
FI (4)：
C08F220/10 ,  G03F7/033 ,  G03F7/039 601 ,  H01L21/30 502R
F-Term (36)：
2H025AB16 ,  2H025AC04 ,  2H025AC05 ,  2H025AC06 ,  2H025AC08 ,  2H025AD03 ,  2H025BE00 ,  2H025BG00 ,  2H025FA03 ,  2H025FA12 ,  2H025FA17 ,  4J100AL08P ,  4J100AL08Q ,  4J100AL08R ,  4J100AL26P ,  4J100AL26Q ,  4J100AL26R ,  4J100BA11P ,  4J100BA11R ,  4J100BC03R ,  4J100BC04R ,  4J100BC07Q ,  4J100BC07R ,  4J100BC08Q ,  4J100BC08R ,  4J100BC09Q ,  4J100BC09R ,  4J100BC12Q ,  4J100BC12R ,  4J100BC53P ,  4J100BC53R ,  4J100CA05 ,  4J100CA06 ,  4J100FA03 ,  4J100FA19 ,  4J100JA38
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (3)

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