光導波装置、光導波モジュール及び光・電気複合デバイス

Inventor： , , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：逢坂宏
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2004360955
Publication number (International publication number)：2006171157
Application date： Dec. 14, 2004
Publication date： Jun. 29, 2006
Summary：

【課題】容易かつ低コストに製造することができ、また安定した光伝送を行うと共に、その速度の向上を図ることができる光導波装置、光導波モジュール及び光・電気複合デバイスを提供すること。【解決手段】シリコン基体2に、互いに屈折率の異なるシリコン酸化膜によって形成されたコア3及びクラッド4a、4bからなる光導波層5が設けられ、前記クラッドとしての前記シリコン酸化膜の屈折率が、コア3としての前記シリコン酸化膜の屈折率より小さい、光導波装置1。光導波層5と、この光導波層5の一部分を除去して設けられた凹部10内に成膜された受光素子構成層9とがシリコン基体2に設けられている、光導波モジュール8。本発明の光導波モジュール8において、光導波層5及び受光素子9を含むシリコン基体2上に、絶縁膜16を介して半導体層17が接合されている、光・電気複合デバイス14。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

シリコン基体に、互いに屈折率の異なるシリコン酸化膜によって形成されたコア及びクラッドからなる光導波層が設けられ、前記クラッドとしての前記シリコン酸化膜の屈折率が、前記コアとしての前記シリコン酸化膜の屈折率より小さい、光導波装置。

IPC (3)：

G02B 6/122 , G02B 6/42 , H01L 31/023

FI (3)：

G02B6/12 B , G02B6/42 , H01L31/02 C

F-Term (33)：

2H047KA04 , 2H047MA07 , 2H047PA05 , 2H047PA21 , 2H047PA24 , 2H047QA02 , 2H047QA04 , 2H137AB12 , 2H137AC01 , 2H137BA52 , 2H137BB02 , 2H137BB12 , 2H137BB25 , 2H137BB33 , 2H137CA73 , 2H137EA04 , 2H137EA05 , 2H137EA11 , 5F088AA03 , 5F088BA02 , 5F088BA16 , 5F088BB01 , 5F088CB03 , 5F088CB10 , 5F088CB14 , 5F088DA01 , 5F088DA17 , 5F088EA06 , 5F088EA08 , 5F088FA09 , 5F088GA04 , 5F088JA14 , 5F088KA08

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (5)

US6680495B2号(3欄5行目〜4欄64行目、図1〜図4)
昭61-222165号公報(2頁左上欄8行目〜左下欄16行目、図1)
US2002/0031321A1号公報(1頁右欄15段落目〜2頁右欄27段落目、図1〜図4)

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Cited by examiner (5)

光インターコネクト装置およびその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平11-105632 Applicant：株式会社日立製作所
導波路作製方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-025260 Applicant：住友電気工業株式会社
特開昭59-220703

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