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J-GLOBAL ID：200903099160279704

検査方法及び検査装置

Inventor： 飯野 伸治 ,  竹腰 清 ,  須賀 唯知 ,  伊藤 寿浩 ,  片岡 憲一
Applicant, Patent owner： 東京エレクトロン株式会社 ,  須賀 唯知 ,  伊藤 寿浩
Agent (1)： 小原 肇
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001093303
Publication number (International publication number)：2002139542
Application date： Mar. 28, 2001
Publication date： May. 17, 2002
Summary：

【要約】【課題】 スクラブ操作によりプローブNと検査用電極Pを電気的に接触させると、スクラブによりプローブNの寿命を縮めたり、図7の(b)に示すように検査用電極Pを傷つけてデバイスの歩留りを低下させる。【解決手段】 本発明の検査方法は、検査用電極Pに検査用プローブ12Aを電気的に接触させてデバイスの電気的特性検査を行う検査方法において、フリッティング現象を利用して検査用電極Pの絶縁被膜Oを破って検査用プローブ12Aと検査用電極Pを電気的に接触させるコンタクト工程を有する。

Claim (excerpt)：

検査用電極にプローブを電気的に接触させて被検査体の電気的特性検査を行う検査方法において、フリッティング現象を利用して上記検査用電極の絶縁被膜を破って上記プローブと上記検査用電極を電気的に接触させるコンタクト工程を有することを特徴とする検査方法。

IPC (4)：

G01R 31/26 ,  G01R 1/06 ,  G01R 31/28 ,  H01L 21/66

FI (4)：

G01R 31/26 J ,  G01R 1/06 E ,  H01L 21/66 B ,  G01R 31/28 K

F-Term (16)：

2G003AA10 ,  2G003AG03 ,  2G003AG08 ,  2G003AG12 ,  2G003AH05 ,  2G003AH07 ,  2G011AA17 ,  2G011AC14 ,  2G011AE03 ,  2G011AF07 ,  2G132AF02 ,  2G132AF06 ,  2G132AL11 ,  4M106AA01 ,  4M106BA01 ,  4M106DD30

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 電子部品の検査方法および装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平10-060582   Applicant：株式会社村田製作所
• 特開平3-229163
  
• プローブカード、及びこれを備えたテスト装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平11-336682   Applicant：三菱電機株式会社