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J-GLOBAL ID:200903099533070118

粒子径分布測定装置

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 西村 竜平
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2002348948
Publication number (International publication number):2004184134
Application date: Nov. 29, 2002
Publication date: Jul. 02, 2004
Summary:
【課題】粒子径分布測定に必要な屈折率を高い信頼性でかつ比較的簡便に求められるようにする。【解決手段】SEMや光学顕微鏡等のように、屈折率を求めずとも粒子径分布を測定できる装置を用いて、事前に測定対象粒子と同種のサンプル粒子についてその粒子径分布を測定するとともに、そのサンプル粒子に一定波長の光を照射して生じる散乱光を測定しておく一方、それら測定結果から直接的又は間接的に得られる測定結果情報を、仮設定した仮屈折率情報に基づき算出した対応する算出結果情報と比較可能とすることにより、その一致度によって前記仮屈折率情報から当該測定対象粒子の真の屈折率を求められるようにした。【選択図】図3
Claim (excerpt):
試料中の測定対象粒子に光を照射して生じた散乱光に関する情報である散乱光情報と、測定対象粒子の前記光に対する屈折率に関する情報である屈折率情報とを利用して粒子径分布に関する情報である粒子径分布情報を算出する粒子径分布測定装置において、 仮設定された屈折率に関する情報である仮屈折率情報を受け付ける仮屈折率情報受付部と、 粒子径分布情報が既知である測定対象粒子に光を照射して得られた実測散乱光情報を受け付ける実測散乱光情報受付部と、 前記仮屈折率情報及び前記実測散乱光情報に基づいて、仮想的な粒子径分布に関する情報である仮想粒子径分布情報を算出する仮想粒子径分布情報算出部と、 前記仮想粒子径分布情報を前記測定対象粒子の既知である粒子径分布情報と比較可能に出力し、当該測定対象粒子の屈折率の設定を支援する屈折率設定支援部とを備えていることを特徴とする粒子径分布測定装置。
IPC (2):
G01N15/02 ,  G01B11/06
FI (2):
G01N15/02 A ,  G01B11/06 Z
F-Term (10):
2F065AA26 ,  2F065FF42 ,  2F065GG04 ,  2F065HH03 ,  2F065JJ05 ,  2F065LL04 ,  2F065QQ23 ,  2F065QQ25 ,  2F065RR07 ,  2F065SS13
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (6)
  • 粒度分布測定方法および装置
    Gazette classification:公開公報   Application number:特願2000-238387   Applicant:科学技術庁航空宇宙技術研究所長, 日機装株式会社
  • 水中の微生物の監視方法
    Gazette classification:公開公報   Application number:特願平11-182293   Applicant:株式会社島津製作所
  • 粒度分布測定装置
    Gazette classification:公開公報   Application number:特願平8-170251   Applicant:株式会社島津製作所
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