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J-GLOBAL ID:200903099694727826
表面形状認識用センサ
Inventor:
,
Applicant, Patent owner:
Agent (1):
山川 政樹
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1998187227
Publication number (International publication number):2000018908
Application date: Jul. 02, 1998
Publication date: Jan. 21, 2000
Summary:
【要約】【課題】 指紋のような微小な凹凸を精度よく検出できるようにする。【解決手段】 下部電極104の周囲を囲うように、下部電極104および支持部材103とは離間して、絶縁層102上に参照電極104aを配置する。そして、上部電極105および下部電極104の間の容量Cfと、上部電極105および参照電極104aの間の容量Crとの差を、センサ回路110により検出する。
Claim (excerpt):
基板上の同一平面上にそれぞれが絶縁分離されて複数配置された複数の下部電極と、前記下部電極上に離間して対向配置された上部電極と、前記基板上に前記下部電極毎に前記下部電極とは離間して配置されて前記上部電極を支持する支持部材と、前記下部電極と前記支持部材との間に前記下部電極毎に前記基板上に前記下部電極および前記支持部材とは離間して前記下部電極毎に配置された参照電極と、前記上部電極と前記下部電極との間の第1の容量と前記上部電極と前記参照電極との間の第2の容量との差を検出するセンサ回路とを備え、前記上部電極は、前記下部電極それぞれの上で前記支持部材を支点に、前記下部電極方向に変形可能に形成されていることを特徴とする表面形状認識用センサ。
IPC (3):
G01B 7/28
, A61B 5/117
, G06T 1/00
FI (3):
G01B 7/28 Z
, A61B 5/10 322
, G06F 15/64 G
F-Term (17):
2F063AA43
, 2F063BA29
, 2F063BB08
, 2F063BC03
, 2F063BD05
, 2F063BD11
, 2F063CA09
, 2F063DA01
, 2F063DA02
, 2F063DA04
, 2F063DB05
, 2F063DC08
, 2F063DD06
, 2F063HA01
, 4C038FF01
, 4C038FG00
, 5B047AA25
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (6)
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モノリシック指紋センサ
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平8-295757
Applicant:フランス・テレコム
-
圧力センサアレイ
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平4-169148
Applicant:株式会社島津製作所
-
容量性触覚センサアレイ
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平4-267355
Applicant:ゼロックスコーポレイション
-
特開昭58-055732
-
静電容量型圧力センサおよびその製造方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平8-070770
Applicant:株式会社豊田中央研究所
-
圧力センサー
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平5-072531
Applicant:本田技研工業株式会社, 株式会社長野計器製作所
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