Pat
J-GLOBAL ID:200903099755575889
積層体
Inventor:
,
,
,
Applicant, Patent owner:
Agent (1):
長谷川 芳樹 (外4名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1994289022
Publication number (International publication number):1996127862
Application date: Oct. 28, 1994
Publication date: May. 21, 1996
Summary:
【要約】【目的】 耐摩耗性を向上させた多層膜の積層体を提供する。【構成】 周期律表IVa、Va、VIa族元素、Al、Si、およびBから選択される1種以上の元素(第1元素)と;B、C、N、およびOから選択される1種以上の元素(第2元素)とを主成分とし、互いに異なる組成を有する少なくとも2種の化合物層からなり、該各層間で1周期以上連続した結晶格子を有する積層部と;該積層部の基材側に配置された層であって、周期律表IVa、Va、およびVIa族元素から選択される1種以上の元素(第3元素)と;C、N、およびOから選択される1種以上の元素(第4元素)とからなる中間層とを含み;該中間層と前記積層部の少なくとも最も基材側の層とが、連続した格子を有する積層体。
Claim (excerpt):
周期律表IVa、Va、VIa族元素、Al、Si、およびBから選択される1種以上の元素(第1元素)と;B、C、N、およびOから選択される1種以上の元素(第2元素)とを主成分とし、互いに異なる組成を有する少なくとも2種の化合物層からなり、該各層間で1周期以上連続した結晶格子を有する積層部と、該積層部の基材側に配置された層であって、周期律表IVa、Va、およびVIa族元素から選択される1種以上の元素(第3元素)と;C、N、およびOから選択される1種以上の元素(第4元素)とからなる中間層とを含み、該中間層と前記積層部の少なくとも最も基材側の層とが、連続した格子を有することを特徴とする積層体。
IPC (3):
C23C 14/06
, C23C 14/08
, B23B 27/14
Patent cited by the Patent:
Cited by applicant (8)
-
特開昭56-016665
-
特開平3-150364
-
特公昭59-021387
-
表面被覆硬質部材及びその製造方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平5-012828
Applicant:住友電気工業株式会社
-
特開平3-120352
-
特開平3-120353
-
超薄膜積層体
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平5-244178
Applicant:住友電気工業株式会社
-
超薄膜積層体
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平5-278411
Applicant:住友電気工業株式会社
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Cited by examiner (8)
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特開昭56-016665
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特開平3-150364
-
特公昭59-021387
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表面被覆硬質部材及びその製造方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平5-012828
Applicant:住友電気工業株式会社
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特開平3-120352
-
特開平3-120353
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超薄膜積層体
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平5-244178
Applicant:住友電気工業株式会社
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超薄膜積層体
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平5-278411
Applicant:住友電気工業株式会社
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