積層体

Inventor： , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：長谷川芳樹 (外4名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994289022
Publication number (International publication number)：1996127862
Application date： Oct. 28, 1994
Publication date： May. 21, 1996
Summary：

【要約】【目的】耐摩耗性を向上させた多層膜の積層体を提供する。【構成】周期律表IVa、Va、VIa族元素、Al、Si、およびBから選択される1種以上の元素(第1元素)と;B、C、N、およびOから選択される1種以上の元素(第2元素)とを主成分とし、互いに異なる組成を有する少なくとも2種の化合物層からなり、該各層間で1周期以上連続した結晶格子を有する積層部と;該積層部の基材側に配置された層であって、周期律表IVa、Va、およびVIa族元素から選択される1種以上の元素(第3元素)と;C、N、およびOから選択される1種以上の元素(第4元素)とからなる中間層とを含み;該中間層と前記積層部の少なくとも最も基材側の層とが、連続した格子を有する積層体。

Claim (excerpt)：

周期律表IVa、Va、VIa族元素、Al、Si、およびBから選択される1種以上の元素(第1元素)と;B、C、N、およびOから選択される1種以上の元素(第2元素)とを主成分とし、互いに異なる組成を有する少なくとも2種の化合物層からなり、該各層間で1周期以上連続した結晶格子を有する積層部と、該積層部の基材側に配置された層であって、周期律表IVa、Va、およびVIa族元素から選択される1種以上の元素(第3元素)と;C、N、およびOから選択される1種以上の元素(第4元素)とからなる中間層とを含み、該中間層と前記積層部の少なくとも最も基材側の層とが、連続した格子を有することを特徴とする積層体。

IPC (3)：

C23C 14/06 , C23C 14/08 , B23B 27/14

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (8)

特開昭56-016665
特開平3-150364
特公昭59-021387

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Cited by examiner (8)

特開昭56-016665
特開平3-150364
特公昭59-021387

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