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J-GLOBAL ID：201002216365352084   Reference number：10A0663338

ガラスのレーザ加工 連続発振レーザによるガラスの変質とその現象観察

Author (3)： HIDAI HIROFUMI (東京工大) ,  ITO SHO (東京工大) ,  TOKURA HITOSHI (東京工大)
Material： レーザ協会誌  (LASER)
Volume： 34  Issue： 3/4  Page： 28-33  Publication year： Oct. 31, 2009 
JST Material Number： L4200A  ISSN： 0916-7277  Document type： Article
Article type： 解説  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *silica glass ,  *borosilicate glass ,  copper foil ,  Ar laser ,  *laser beam machining ,  laser irradiation ,  cw laser ,  optical absorption ,  melting ,  in situ observation ,  transmissivity ,  *transparent material
Semi thesaurus term： *Pyrex glass ,  内部加工 ,  melting

JST classification (1)： Manufacturing of glass  (YC02020O)

Reference (10)：

• K. M. Davis, K. Miura, N. Sugimoto and K. Hirao: Writing waveguides in glass with a femtosecond laser, Opt. Lett.21, 21(1996)1729.
• M. Kumagai, N. Uchiyama, E. Ohmura, R. Sugiura, K. Atsumi and K. Fukumitsu: Advanced dicing technology for semiconductor wafer Stealth dicing, Ieee Transactions on Semiconductor Manufacturing 20, 3(2007)259.
• R. R. Gattass and E. Mazur: Femtosecond laser micromachining in transparent materials, Nature Photonics 2, 4(2008)219.
• E. N. Glezer, M. Milosavljevic, L. Huang, R. J. Finlay, T. H. Her, J. P. Callan and E. Mazur: Three-dimensional optical storage inside transparent materials, Opt. Lett.21, 24(1996)2023.
• J. W. Chan, T. Huser, S. Risbud and D. M. Krol: Structural changes in fused silica after exposure to focused femtosecond laser pulses, Opt. Lett.26, 21(2001)1726.

Terms in the title (6)： ガラス ,  レーザ加工 ,  連続発振レーザ ,  変質 ,  現象 ,  観察