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J-GLOBAL ID：201002217517303536   Reference number：10A1607491

Influence of the Nitrogen-Containing to Thermoelectric Performance of Diamond Like Carbon Thin Films

DLC皮膜の熱電性能に及ぼす窒素含有の影響

Author (3)： NAKAMURA MASASHI (茨城大 工) ,  HARAGUCHI TADAO (茨城大 工) ,  UCHIYAMA SATOSHI (茨城大 大学院理工学研究科)
Material： 表面技術  (Journal of the Surface Finishing Society of Japan)
Volume： 61  Issue： 12  Page： 823-828  Publication year： Dec. 01, 2010 
JST Material Number： G0441B  ISSN： 0915-1869  CODEN： HYGIEX  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： diamond-like carbon ,  *DLC film ,  plasma CVD ,  *nitrogen compound ,  *doping ,  *transport coefficient ,  thermoelectromotive force ,  *electrical resistivity ,  chemical composition ,  *chemical bond ,  P-type semiconductor ,  Hall effect ,  Raman spectrum ,  *Seebeck coefficient

JST classification (2)： Semiconductor thin films  (BK14040E) ,  Electric conduction in amorphous and liquid semiconductors  (BM03042G)

Reference (18)：

• 1) M. Ikenaga ; DLC Seimaku Gijutsu, p.3 (Nikkan Kougyo Shinbun, Ltd., 2007).
• 2) M. Rusop, X. M. Tian, T. Kinugawa, T. Soga, T. Jimbo, M. Umeno ; Applied Surface Science, 252, 1693 (2005).
• 3) A. P. Mousinho, R. D. Mansano ; Applied Surface Science, 254, 189 (2007).
• 4) J. Takahashi, T. Hando, H. Kinoshita ; Technical Report of IEICE. SDM, 96 (344), p.73 (IEICE, 1996).
• 5) S. M. Mominuzzaman, H. Ebisu, T. Soga, T. Jimbo, M. Umeno ; Diamond and Related Materials, 10, 984 (2001).

Terms in the title (3)： DLC ,  皮膜 ,  窒素