Art

J-GLOBAL ID：201002253203301314   Reference number：10A0450049

Development of coarse/fine dual stage using pneumatically driven bellows actuator and cylinder with air bearings

空気圧駆動ベローズアクチュエータと空気軸受を備えたシリンダを用いた粗動/微動デュアルステージの開発

Author (5)： KAWASHIMA Kenji (Tokyo Inst. of Technol., 4259 R2-46, Nagatsuta-cho, Midori-ku, Yokohama, Kanagawa 226-8503, JPN) ,  ARAI Takeshi (Tokyo Inst. of Technol., 4259 R2-46, Nagatsuta-cho, Midori-ku, Yokohama, Kanagawa 226-8503, JPN) ,  TADANO Kotaro (Tokyo Inst. of Technol., 4259 R2-46, Nagatsuta-cho, Midori-ku, Yokohama, Kanagawa 226-8503, JPN) ,  FUJITA Toshinori (Tokyo Denki Univ., 2-2 Kanda-nishiki-cho, Chiyoda-ku, Tokyo 101-8457, JPN) ,  KAGAWA Toshiharu (Tokyo Inst. of Technol., 4259 R2-46, Nagatsuta-cho, Midori-ku, Yokohama, Kanagawa 226-8503, JPN)
Material： Precision Engineering  (Precis Eng)
Volume： 34  Issue： 3  Page： 526-533  Publication year： Jul. 2010 
JST Material Number： A0734B  ISSN： 0141-6359  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： United States (USA)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *stage (hall) ,  pneumatic control ,  bellows ,  actuator ,  pneumatic cylinder ,  air bearing ,  positioning ,  valve ,  servo valve ,  pneumatic actuator ,  nozzle flapper
Semi thesaurus term： *stage

JST classification (1)： Motion mechanism  (QB01080K)

Terms in the title (9)： 空気圧駆動 ,  ベローズ ,  アクチュエータ ,  空気軸受 ,  シリンダ ,  微動 ,  デュアル ,  ステージ ,  開発