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J-GLOBAL ID：201002266087908537   Reference number：10A0626868

Measurement of lifetimes of thin carbon stripper foils produced by ion-beam sputtering

イオンビームスパッタリングによる作製した薄い炭素ストリッパー箔の寿命の測定

Author (8)： TAKEDA Yasuhiro (High Energy Accelerator Res. Organization (KEK), Oho 1-1, Tsukuba, Ibaraki 305-0801, JPN) ,  IRIE Yoshiro (High Energy Accelerator Res. Organization (KEK), Oho 1-1, Tsukuba, Ibaraki 305-0801, JPN) ,  SUGAI Isao (High Energy Accelerator Res. Organization (KEK), Oho 1-1, Tsukuba, Ibaraki 305-0801, JPN) ,  TAKAGI Akira (High Energy Accelerator Res. Organization (KEK), Oho 1-1, Tsukuba, Ibaraki 305-0801, JPN) ,  OYAIZU Michihiro (High Energy Accelerator Res. Organization (KEK), Oho 1-1, Tsukuba, Ibaraki 305-0801, JPN) ,  KAWAKAMI Hirokane (High Energy Accelerator Res. Organization (KEK), Oho 1-1, Tsukuba, Ibaraki 305-0801, JPN) ,  HATTORI Toshiyuki (Tokyo Inst. of Technol., Ookayama 2-12, Meguro-ku, Tokyo 152-8550, JPN) ,  KAWASAKI Katsunori (Tokyo Inst. of Technol., Ookayama 2-12, Meguro-ku, Tokyo 152-8550, JPN)
Material： Vacuum
Volume： 84  Issue： 12  Page： 1448-1451  Publication year： Jun. 25, 2010 
JST Material Number： E0347A  ISSN： 0042-207X  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： United Kingdom (GBR)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： ion beam sputtering ,  *sputtered deposition ,  *Carbon ,  *foil ,  film thickness ,  *lifetime ,  *accelerator ,  reactive sputtering ,  proton accelerator

JST classification (1)： Particle accelerators in general and theory  (BE02010M)

Terms in the title (6)： イオンビームスパッタリング ,  作製 ,  炭素 ,  ストリッパー ,  箔 ,  寿命