Pat
J-GLOBAL ID：201003008989306674

分枝状ナノワイヤーおよびその製造方法

Inventor：
李 銀 京

About 李 銀 京

, 
崔 秉 龍

About 崔 秉 龍

, 
李 相 陳

About 李 相 陳


Applicant, Patent owner：
三星電子株式会社

About 三星電子株式会社


Agent (1)： 八田国際特許業務法人
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2009030191
Publication number (International publication number)：2010089249
Application date： Feb. 12, 2009
Publication date： Apr. 22, 2010
Summary：
【課題】広い表面積を有する分枝状ナノワイヤーを容易に製造できる製造方法を提供する。【解決手段】シリコン系ナノワイヤ-50の表面を湿式エッチングし、表面欠陥56を形成する。次いで、シリコン系ナノワイヤー50を脱イオン水または空気中に露出させ、表面に酸化物層52を形成する。この工程で、シリコン系ナノワイヤーの表面にはシリコン核54が形成される。この後、シリコン核より分枝状ナノワイヤーを成長させる。本方法によれば、単一形状のナノワイヤーではなく枝が付いたナノワイヤーを製造できる。【選択図】図5
Claim (excerpt)：
ナノワイヤー:および 前記ナノワイヤーの内部または表面に存在するシリコン核から成長した寄生ナノワイヤー枝を含むことを特徴とする分枝状ナノワイヤー。
IPC (4)：
B82B 1/00 ,  B82B 3/00 ,  C30B 29/62 ,  C01B 33/02
FI (4)：
B82B1/00 ,  B82B3/00 ,  C30B29/62 A ,  C01B33/02 Z
F-Term (32)：
4G072AA01 ,  4G072AA25 ,  4G072BB04 ,  4G072GG02 ,  4G072GG03 ,  4G072GG04 ,  4G072HH04 ,  4G072HH07 ,  4G072HH08 ,  4G072KK11 ,  4G072LL05 ,  4G072MM36 ,  4G072RR26 ,  4G072RR30 ,  4G072UU30 ,  4G077AA04 ,  4G077BB03 ,  4G077CA01 ,  4G077CA04 ,  4G077CA07 ,  4G077CA08 ,  4G077CA09 ,  4G077ED06 ,  4G077EJ09 ,  4G077FG06 ,  4G077HA01 ,  4G077HA02 ,  4G077HA05 ,  4G077JA03 ,  4G077JB02 ,  4G077JB07 ,  4G077JB12
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (6)
Show all
Cited by examiner (6)
Show all
Article cited by the Patent：
Cited by applicant (1) Cited by examiner (1)

Return to Previous Page

TOP

BOTTOM