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J-GLOBAL ID：201003010264045519

透過型電子顕微鏡

Inventor：
ベリマン ジョン

About ベリマン ジョン

, 
ローゼンタール ピーター

About ローゼンタール ピーター


Applicant, Patent owner：
メディカル リサーチ カウンシル

About メディカル リサーチ カウンシル


Agent (6)： 辻居 幸一 ,  熊倉 禎男 ,  大塚 文昭 ,  西島 孝喜 ,  須田 洋之 ,  上杉 浩
Gazette classification：公表公報
Application number (International application number)：2010515585
Publication number (International publication number)：2010533352
Application date： Jun. 05, 2008
Publication date： Oct. 21, 2010
Summary：
透過型電子顕微鏡を提供する。透過型電子顕微鏡は、顕微鏡の電子光軸上のターゲット本体位置と、顕微鏡の軸外の導電性本体とを有する。顕微鏡はまた、軸方向電子ビームを生成するための電子源を有する。使用中に、ビームは、ターゲット本体位置に位置するターゲット本体上に衝突する。顕微鏡は、更に、別の軸外電子ビームを同時に生成するためのシステムを有する。使用中に、軸外電子ビームは、導電性本体に衝突してそこから2次電子を放出させる。導電性本体は、放出2次電子がターゲット本体上に衝突し、ターゲット本体上に蓄積する可能性がある正電荷を中和するように配置される。【選択図】図2
Claim (excerpt)：
顕微鏡の電子光軸上のターゲット本体位置と、 顕微鏡の軸外の導電性本体と、 使用中に前記ターゲット本体位置に位置するターゲット本体上に衝突する軸方向電子ビームを生成するための電子源と、 使用中に前記導電性本体上に衝突してそこから2次電子を放出させる別の軸外電子ビームを同時に生成するためのシステムと、 を有し、 前記導電性本体は、前記放出された2次電子が前記ターゲット本体上に衝突して該ターゲット本体上に蓄積する可能性がある正電荷を中和するように配置される、 ことを特徴とする透過型電子顕微鏡。
IPC (4)：
H01J 37/26 ,  H01J 37/295 ,  H01J 37/09 ,  H01J 37/20
FI (4)：
H01J37/26 ,  H01J37/295 ,  H01J37/09 A ,  H01J37/20 H
F-Term (7)：
5C001AA08 ,  5C001BB07 ,  5C001CC03 ,  5C033BB01 ,  5C033BB10 ,  5C033SS01 ,  5C033SS10
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (5)
  • 半導体回路パターンの検査装置
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願2002-163701   Applicant：株式会社日立ハイテクノロジーズ
  • 特開平3-285242
  • 粒子光学装置
    Gazette classification：公表公報   Application number：特願2001-531121   Applicant：フェイエレクトロンオプティクスビーヴィ
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