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J-GLOBAL ID:201003035084119290
ブルーレジスト組成物
Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (2):
近藤 利英子
, 吉田 勝広
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2008256327
Publication number (International publication number):2010085833
Application date: Oct. 01, 2008
Publication date: Apr. 15, 2010
Summary:
【課題】YAGレーザーを用いて、カラーフィルター用青色画素が得られるYAGレーザーで露光硬化する高感度のレジスト組成物を提供すること。【解決手段】クリアレジスト(a)と、青色系顔料(b)と、フッ素系界面活性剤(c)と、式(1)、(2)、(3)で表される化合物から選ばれる少なくとも1種の化合物(z)と活性エネルギー線光重合開始剤とを含有するYAGレーザー重合開始剤(d)とを含有することを特徴とするYAGレーザーで硬化するブルーレジスト組成物。【選択図】なし
Claim (excerpt):
クリアレジスト(a)と、青色系顔料(b)と、フッ素系界面活性剤(c)と、下記式(1)、(2)、(3)で表される化合物から選ばれる少なくとも1種の化合物(z)と活性エネルギー線光重合開始剤とを含有するYAGレーザー重合開始剤(d)とを含有することを特徴とするYAGレーザーで硬化するブルーレジスト組成物。
IPC (3):
G03F 7/031
, G03F 7/004
, G02B 5/20
FI (5):
G03F7/031
, G03F7/004 505
, G03F7/004 504
, G03F7/004 501
, G02B5/20 101
F-Term (20):
2H025AA01
, 2H025AB13
, 2H025AC01
, 2H025AD01
, 2H025BC43
, 2H025CA02
, 2H025CA09
, 2H025CA31
, 2H025CA41
, 2H025CB10
, 2H025CB13
, 2H025CB14
, 2H025CC04
, 2H025CC12
, 2H025CC20
, 2H025FA17
, 2H025FA29
, 2H048BA02
, 2H048BA48
, 2H048BB42
Patent cited by the Patent:
Cited by applicant (1)
-
液晶マスク式露光マーキング装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平9-284854
Applicant:株式会社日立製作所
Cited by examiner (7)
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