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J-GLOBAL ID:200903051781139474

感光性組成物

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (22): 鈴江 武彦 ,  河野 哲 ,  中村 誠 ,  蔵田 昌俊 ,  福原 淑弘 ,  峰 隆司 ,  白根 俊郎 ,  村松 貞男 ,  野河 信久 ,  幸長 保次郎 ,  河野 直樹 ,  砂川 克 ,  勝村 紘 ,  橋本 良郎 ,  風間 鉄也 ,  河井 将次 ,  佐藤 立志 ,  岡田 貴志 ,  堀内 美保子 ,  竹内 将訓 ,  市原 卓三 ,  山下 元
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2007297035
Publication number (International publication number):2008146043
Application date: Nov. 15, 2007
Publication date: Jun. 26, 2008
Summary:
【課題】一括露光法および直描法のいずれにも用いることができ、さらにレーザー直描法においてはレーザー光の波長の長短によらず用いることができる感光性組成物、および該組成物をキャリアフィルム上に塗布した後に乾燥して得られるドライフィルムを提供する。【解決手段】紫外線を発生するランプからの光をフォトマスクを介して露光する一括露光法により、または紫外線を発生するランプからの光若しくはレーザー光を用いる直接描画法によりパターン潜像を形成し、このパターン潜像をアルカリ水溶液により現像化させる感光性組成物であって、その露光前の乾燥塗膜の厚さ25μmあたり、355〜405nmの波長範囲における吸光度の最大値と最小値の差が0.3以内であることを特徴とする感光性組成物、および該組成物をキャリアフィルム上に塗布した後に乾燥して得られるドライフィルム。【選択図】なし
Claim (excerpt):
紫外線を発生するランプからの光をフォトマスクを介して露光する一括露光法により、または紫外線を発生するランプからの光若しくはレーザー光を用いる直接描画法によりパターン潜像を形成し、このパターン潜像をアルカリ水溶液により現像化させる感光性組成物であって、その露光前の乾燥塗膜の厚さ25μmあたり、355〜405nmの波長範囲における吸光度の最大値と最小値の差が0.3以内であることを特徴とする感光性組成物。
IPC (6):
G03F 7/027 ,  G03F 7/004 ,  G03F 7/028 ,  G03F 7/029 ,  H05K 3/28 ,  C08F 2/50
FI (9):
G03F7/027 515 ,  G03F7/004 512 ,  G03F7/004 505 ,  G03F7/004 501 ,  G03F7/028 ,  G03F7/029 ,  H05K3/28 D ,  H05K3/28 F ,  C08F2/50
F-Term (35):
2H025AC01 ,  2H025AC08 ,  2H025AD01 ,  2H025BC74 ,  2H025BC85 ,  2H025CA01 ,  2H025CA27 ,  2H025CA34 ,  2H025CC12 ,  2H025CC17 ,  2H025CC20 ,  2H025FA17 ,  4J011AA05 ,  4J011AC04 ,  4J011BA07 ,  4J011BB02 ,  4J011BB09 ,  4J011QA21 ,  4J011QB03 ,  4J011QB06 ,  4J011QB19 ,  4J011QB22 ,  4J011QC03 ,  4J011SA61 ,  4J011SA65 ,  4J011SA88 ,  4J011UA01 ,  4J011UA02 ,  4J011VA01 ,  4J011WA01 ,  5E314AA24 ,  5E314AA27 ,  5E314BB10 ,  5E314CC15 ,  5E314GG26
Patent cited by the Patent:
Cited by applicant (2) Cited by examiner (6)
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