Pat
J-GLOBAL ID:201003037944896055
基板ハウジングのダイヤモンド様炭素コーティング
Inventor:
,
Applicant, Patent owner:
Agent (6):
川口 義雄
, 小野 誠
, 渡邉 千尋
, 金山 賢教
, 大崎 勝真
, 坪倉 道明
Gazette classification:公表公報
Application number (International application number):2009538382
Publication number (International publication number):2010510109
Application date: Jun. 14, 2007
Publication date: Apr. 02, 2010
Summary:
本発明の実施形態は、プラスチック基板またはプラスチック包装材の1つ以上の表面にダイヤモンド様炭素コーティングまたはドープ処理されたダイヤモンド様炭素コーティングを含む物品に関する。DLCまたはドープ処理されたDLCコーティングの実施形態は、プラスチック単独の浸透率と比較して、被覆されたプラスチックまたは熱可塑性材料の水素またはヘリウムに対するガス浸透を低下させる。DLCまたはドープ処理されたDLCコーティングは、約107から約1014オーム/スクエアの表面抵抗率を与え、約300nmから約1100nmの範囲の基礎プラスチック基板の透過率よりも約0%から約70%低い範囲の透過率を有する。DLCが被覆されたプラスチックは、半導体ウエハおよびレチクルなどの環境感受性基板を保護するための環境包装材に使用することができる。
Claim (excerpt):
熱可塑性材料および前記熱可塑性材料の1つ以上の表面上の粘着性ダイヤモンド用炭素コーティングを含み、前記粘着性ダイヤモンド様炭素コーティングは前記熱可塑性材料のヘリウムに対する浸透係数の少なくとも10分の1未満であるヘリウムガスに対する浸透係数を有し、前記ダイヤモンド様炭素コーティングは約107から約1014オーム/スクエアの表面抵抗率を有し、前記粘着性ダイヤモンド様炭素コーティングは約300nmから約1100nmの範囲の前記熱可塑性材料の光透過率よりも0%から70%低い透過率を有する、物品。
IPC (4):
B32B 9/00
, C23C 14/06
, C23C 16/27
, B65D 65/40
FI (4):
B32B9/00 A
, C23C14/06 F
, C23C16/27
, B65D65/40 D
F-Term (36):
3E086AB01
, 3E086BA04
, 3E086BA15
, 3E086BA40
, 3E086BB01
, 3E086BB35
, 3E086BB54
, 3E086BB55
, 3E086CA01
, 3E086CA11
, 3E086CA31
, 3E086DA01
, 4F100AA37A
, 4F100AD11A
, 4F100AK01B
, 4F100AK45
, 4F100BA02
, 4F100EJ55A
, 4F100EJ553
, 4F100EJ61A
, 4F100EJ613
, 4F100GB15
, 4F100JB05A
, 4F100JB16B
, 4F100JD02A
, 4F100JG01A
, 4F100JL13A
, 4F100JN08A
, 4F100YY00A
, 4K029AA11
, 4K029AA24
, 4K029BA34
, 4K030BA28
, 4K030CA07
, 4K030CA12
, 4K030LA24
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (6)
-
アモルファスカーボン膜及び容器
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2005-115004
Applicant:三菱重工業株式会社
-
ダイヤモンド状炭素膜の作製方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2000-056705
Applicant:株式会社半導体エネルギー研究所
-
衛生品用容器及びその製造方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2003-120435
Applicant:株式会社大協精工
-
透明ガスバリヤーフィルム
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平9-062876
Applicant:三井化学株式会社
-
コーティングフィルムおよびその製造方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平9-010030
Applicant:麒麟麦酒株式会社
-
基板上にダイアモンド状カーボン・フィルムを付着する方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平5-296206
Applicant:インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレイション
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