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J-GLOBAL ID：201003099690470058

微量質量センサ

Inventor：
小西 希

About 小西 希


Applicant, Patent owner：
三菱マテリアル株式会社

About 三菱マテリアル株式会社


Agent (1)： 杉浦 秀幸
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2009062062
Publication number (International publication number)：2010216895
Application date： Mar. 13, 2009
Publication date： Sep. 30, 2010
Summary：
【課題】 耐熱性や耐久性に優れ、さらに作製が容易で製造コストの低い湿度センサ等の微量質量センサを提供すること。【解決手段】 基板3と、該基板3上に成膜された金属の電極膜4と、該電極膜4上に成膜された感応膜2と、を備え、該感応膜2が、繊維表面を酸化処理して親水化した微細炭素繊維で形成されている。また、感応膜2が、微細炭素繊維の分散液を電極膜4上に塗布して乾燥させた膜である。なお、微細炭素繊維は、カーボンナノチューブであり、基板は、ランガサイト単結晶で形成されることが好ましい。【選択図】図1
Claim (excerpt)：
基板と、 該基板上に成膜された金属の電極膜と、 該電極膜上に成膜された感応膜と、を備え、 該感応膜が、繊維表面を酸化処理して親水化した微細炭素繊維で形成されていることを特徴とする微量質量センサ。
IPC (1)：
G01N 5/02
FI (1)：
G01N5/02 A
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (13)
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