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J-GLOBAL ID：201102256755035925   Reference number：11A1227707

Studies on low-temperature direct bonding of VUV, VUV/O₃ and O₂ plasma pretreated cyclo-olefin polymer

VUV,VUV/O₃,O₂プラズマ前処置したシクロオレフイン高分子の低温直接貼合せの研究

Author (3)： SHINOHARA Hidetoshi (Major in Nano-Science and Nano-Engineering, Waseda Univ., 3-4-1, Okubo, Shinjyuku, Tokyo 169-8555, JPN) ,  MIZUNO Jun (Nanotechnology Res. Lab., Waseda Univ., 513, Wasedatsurumaki-cho, Shinjyuku, Tokyo 162-0041, JPN) ,  SHOJI Shuichi (Major in Nano-Science and Nano-Engineering, Waseda Univ., 3-4-1, Okubo, Shinjyuku, Tokyo 169-8555, JPN)
Material： Sensors and Actuators. A. Physical  (Sens Actuators A)
Volume： 165  Issue： 1  Page： 124-131  Publication year： Jan. 2011 
JST Material Number： B0345C  ISSN： 0924-4247  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Netherlands (NLD)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *plasma treatment ,  vacuum ultraviolet radiation ,  ultraviolet irradiation ,  Ozone ,  plasma ,  Fourier transform infrared spectrophotometry ,  ATR spectroscopy ,  FTIR spectroscopy ,  X-ray photoelectron spectroscopy ,  contact angle ,  electron microscopy ,  hydrogen bond ,  covalent bond ,  cycloalkene ,  *polyalkenamer ,  *lamination (process) ,  oxygen plasma
Semi thesaurus term： Attenuated Total Reflection Fourier transform Infrared Spectroscopy

JST classification (1)： Applications of plasma  (BJ02110K)

Terms in the title (9)： VUV ,  O3 ,  O2 ,  プラズマ ,  前処置 ,  高分子 ,  低温 ,  貼合せ ,  研究