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J-GLOBAL ID：201102262887301802   Reference number：11A1099510

Effects of Carbon Contaminations on Electron-Induced Damage of SiO₂ Film Surface at Different Electron Primary Energies

SiO₂薄膜表面についての異なる一次電子エネルギーでの電子誘起損傷に関する炭素汚染の効果

Author (6)： NAGATOMI T. (Osaka Univ., Osaka, JPN) ,  NAKAMURA H. (Osaka Univ., Osaka, JPN) ,  TAKAI Y. (Osaka Univ., Osaka, JPN) ,  OGIWARA T. (National Inst. Materials Sci., Ibaraki, JPN) ,  KIMURA T. (National Inst. Materials Sci., Ibaraki, JPN) ,  TANUMA S. (National Inst. Materials Sci., Ibaraki, JPN)
Material： Journal of Surface Analysis  (JSA)
Volume： 18  Issue： 1  Page： 26-35  Publication year： Jun. 2011 
JST Material Number： L3852A  ISSN： 1341-1756  CODEN： JSANFX  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *silicon dioxide ,  *dielectric thin film ,  *electron irradiation ,  *radiation damage ,  Auger spectrum ,  energy dependence ,  pollution ,  Carbon ,  1-10keV ,  surface contamination
Semi thesaurus term： 二段階モデル

JST classification (3)： Oxide thin films  (BK14050P) ,  Interactions with electrons and positrons in general  (BK16051U) ,  Irradiational changes of other materials  (BK16124V)

Reference (15)：

• [1] S. Ichimura and R. Shimizu, J. Appl. Phys. 50, 6020 (1979).
• [2] H. Nonaka, S. Ichimura, and K. Arai, Surf. Interface Anal. 16, 435 (1990).
• [3] J. Fujiwara, K. Yoshihara, and K. Nii, J. Surf Sci. Soc. Jpn. 8, 148 (1987) (in Japanese).
• [4] K. Min, M. Nakamura, and K. Yoshihara, J. Surf Anal. 3, 39 (1997) (in Japanese).
• [5] C. G. Pantano and T. E. Madey, Appl. Suf. Sci. 7, 115 (1981).

Terms in the title (7)： SiO2 ,  薄膜 ,  エネルギー ,  電子 ,  誘起 ,  損傷 ,  炭素汚染