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J-GLOBAL ID：201102278722952861   Reference number：11A1099509

Investigation of Measurement Conditions of Metastable De-excitation Spectroscopy of MgO Thin Films Used for Plasma Display Panels

プラズマディスプレイパネルに対して用いたMgO薄膜の準安定脱励起スペクトロスコピーに関する測定条件の研究

Author (16)： YOSHINO K. (Osaka Univ., Osaka, JPN) ,  YOSHINO K. (Panasonic Corp., Osaka, JPN) ,  MORITA Y. (Osaka Univ., Osaka, JPN) ,  MORITA Y. (Panasonic Corp., Osaka, JPN) ,  NAGATOMI T. (Osaka Univ., Osaka, JPN) ,  TERAUCHI M. (Osaka Univ., Osaka, JPN) ,  TERAUCHI M. (Panasonic Corp., Osaka, JPN) ,  TSUJITA T. (Osaka Univ., Osaka, JPN) ,  TSUJITA T. (Panasonic Corp., Osaka, JPN) ,  NAKAYAMA T. (Panasonic Corp., Osaka, JPN) ,  YAMAUCHI Y. (Panasonic Corp., Osaka, JPN) ,  NISHITANI M. (Osaka Univ., Osaka, JPN) ,  NISHITANI M. (Panasonic Corp., Osaka, JPN) ,  KITAGAWA M. (Panasonic Corp., Osaka, JPN) ,  YAMAUCHI Y. (National Inst. Materials Sci., Ibaraki, JPN) ,  TAKAI Y. (Osaka Univ., Osaka, JPN)
Material： Journal of Surface Analysis  (JSA)
Volume： 18  Issue： 1  Page： 13-25  Publication year： Jun. 2011 
JST Material Number： L3852A  ISSN： 1341-1756  CODEN： JSANFX  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *dielectric thin film ,  *magnesium oxide ,  panel ,  deexcitaion ,  spectroscopy ,  *electronic structure ,  electron affinity ,  electron irradiation ,  1-10keV ,  band gap ,  secondary electron emission ,  ionization potential ,  temperature dependence ,  removal ,  sputtering ,  heat treatment ,  Auger spectrum
Semi thesaurus term： plasma display panel ,  Decontamination

JST classification (2)： Oxide thin films  (BK14050P) ,  Electronic structure of crystalline insulators  (BM02070Y)

Reference (38)：

• [1] H. Uchiike, K. Miura, N. Nakayama, T. Shinoda, and Y. Fukushima, IEEE Trans. Electron Dev. ED-23, 1211 (1976).
• [2] K. S. Moon, J. Lee, and K. W. Whang., J. Appl. Phys. 86, 4049 (1999).
• [3] H. S. Uhm, E. H. Choi, and J. Y. Lim, Appl. Phys. Lett. 80, 737 (2002).
• [4] T. Hirakawa, S. Goto, S. Zhang, and H. Uchiike, Proc. International Display Workshops (IDW) '02 (Hiroshima, Japan, 2002) p. 749.
• [5] Y. T. Matulevich and P. A. Zeijlmans van Emmicho- ven , Phys. Rev. B 69, 245414 (2004).

Terms in the title (7)： プラズマディスプレイパネル ,  MgO ,  薄膜 ,  脱励起 ,  スペクトロスコピー ,  測定条件 ,  研究