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J-GLOBAL ID:201103000557418818

洩れ検査方法及び洩れ検査装置

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (4): 中島 淳 ,  加藤 和詳 ,  西元 勝一 ,  福田 浩志
Gazette classification:特許公報
Application number (International application number):2006159087
Publication number (International publication number):2007327849
Patent number:4364218
Application date: Jun. 07, 2006
Publication date: Dec. 20, 2007
Claim (excerpt):
【請求項1】 気体供給源から測定対象容器及び基準容器に気体を供給し、前記測定対象容器の内部の気体と前記基準容器の内部の気体とを所定の平衡圧力P0の平衡状態とするとともに、前記測定対象容器及び前記基準容器における気体の流入及び流出を遮断する気体供給手段と、 前記測定対象容器の内部の気体の圧力と前記基準容器の内部の気体の圧力との測定差圧PAを求める差圧測定手段と、 前記基準容器の内部の気体の温度を測定する第1温度測定手段と、 前記測定対象容器の内部の気体の温度を測定する第2温度測定手段と、 前記基準容器における前記平衡状態から所定時間t経過後の、気体の温度変化及び前記平衡圧力P0に基づいて定められる気体の圧力を理論圧力P1とし、 前記測定対象容器における前記平衡状態から所定時間t経過後の、気体の温度変化及び前記平衡圧力P0に基づいて定められる気体の圧力を理論圧力P2として、前記理論圧力P1と前記理論圧力P2との差である理論差圧PBと前記測定差圧PAとを比較して、前記測定対象容器の洩れの有無を判定する判定手段と、 を備えたことを特徴とする洩れ検査装置。
IPC (1):
G01M 3/26 ( 200 6.01)
FI (1):
G01M 3/26 A
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (8)
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