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J-GLOBAL ID：201103021643846340
変位計測装置、方法およびプログラム
Inventor：
,
,
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,
Applicant, Patent owner：
Agent (2)：
杉村 憲司
, 英 貢
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2010040546
Publication number (International publication number)：2011174874
Application date： Feb. 25, 2010
Publication date： Sep. 08, 2011
Summary：
【課題】所定の位置における微小な変位を高精度かつ高効率で自動的に計測する装置、方法およびプログラムを提供する。【解決手段】変位計測装置は、所定の位置に設けられた変位計測用の格子を含む変位計測用画像を撮影する撮影部と、変位計測用画像から格子の領域を検出して該格子領域の画像を抽出する格子領域検出部と、抽出した格子領域の画像に対してサンプリングモアレ法により格子領域の画像に対するモアレの位相分布を導出する位相分布導出部と、位相分布から求められた所定の位置における変位前後の位相差と、予め定められた格子ピッチとから所定の位置における変位を決定する変位決定部とを備える。【選択図】図1
Claim (excerpt)：
所定の位置における変位を計測するための変位計測装置であって、
前記所定の位置に設けられた変位計測用の格子を含む変位計測用画像を撮影する撮影部と、
前記変位計測用画像から前記格子の領域を検出して該格子領域の画像を抽出する格子領域検出部と、
抽出した前記格子領域の画像に対してサンプリングモアレ法により前記格子領域の画像に対するモアレの位相分布を導出する位相分布導出部と、
前記位相分布から求められた前記所定の位置における変位前後の位相差と、予め定められた格子ピッチとから前記所定の位置における変位を決定する変位決定部と、
を備えることを特徴とする変位計測装置。
IPC (1)：
FI (1)：
F-Term (22)：
2F065AA09
, 2F065AA20
, 2F065DD06
, 2F065FF01
, 2F065FF06
, 2F065FF61
, 2F065JJ03
, 2F065JJ26
, 2F065QQ04
, 2F065QQ08
, 2F065QQ14
, 2F065QQ15
, 2F065QQ16
, 2F065QQ23
, 2F065QQ29
, 2F065QQ31
, 2F065QQ33
, 2F065QQ43
, 2F065RR06
, 2F065RR09
, 2F065SS09
, 2F065UU05
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