試料採取用マイクロミル

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner： ,
Agent (1)：大井正彦
Gazette classification：特許公報
Application number (International application number)：2005161011
Publication number (International publication number)：2006334703
Patent number：4608370
Application date： Jun. 01, 2005
Publication date： Dec. 14, 2006
Claim (excerpt)：

【請求項1】試料載置面を有するステージと、このステージの上方に位置するよう設けられた、ステージの試料載置面に保持された試料を切削するための回転切削ドリルと、ステージおよび回転切削ドリルの両者を離接方向に相対的に移動させる移動機構とを備えてなる試料採取用マイクロミルであって、回転切削ドリルは、そのドリルビットの切刃部分が回転することにより描かれる軌跡によって形成される切刃回転形状が円錐形状であり、水平な回動軸の周りに回動可能な支持機構により支持され、その回転切削ドリルの回転軸の試料載置面に対する傾斜角度が調整可能であって切刃回転形状のテーパー面の角度が調整可能とされており、前記移動機構は、ステージを水平面内で横方向および縦方向に推移させる構成を有し、当該ステージの最小移動単位が0.025〜1.0μmであり、回転切削ドリルの先端を含む領域を視野として有し、切刃部分によって切削される部位を拡大して観察するための観察手段が配設されており、前記切刃回転形状のテーパー角度と試料における切削対象領域部分に係る境界面の前記試料載置面に対する角度とに基づいて、前記回転切削ドリルの回転軸の試料載置面に対する傾斜角度が設定されることにより当該回転切削ドリルに係る切刃回転形状のテーパー面が試料の境界面に適合する状態とされ、前記移動機構によって当該切刃回転形状のテーパー面が試料の境界面に沿って相対的に移動されることにより試料が切削されることを特徴とする試料採取用マイクロミル。

IPC (2)：

G01N 1/04 ( 200 6.01) , B23B 39/14 ( 200 6.01)

FI (2)：

G01N 1/04 X , B23B 39/14

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

ロボットアーム
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平11-163887 Applicant：三共鋼業株式会社
単結晶ダイヤモンドをその先端に有するエンドミル
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2001-360087 Applicant：マイクロ・ダイヤモンド有限会社
多結晶ダイヤモンドをその先端に有したドリル
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2000-360578 Applicant：西江寛

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