気体搬送装置

Inventor： , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：特許業務法人楓国際特許事務所
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2009175833
Publication number (International publication number)：2011026096
Application date： Jul. 28, 2009
Publication date： Feb. 10, 2011
Summary：

【課題】比較的低電圧で動作し、高効率な気体搬送を実現する。【解決手段】誘電体基板51の上面には複数の線状電極52が平行且つ一定間隔に配列形成されている。周期パルス電源40は4相のパルス電圧V1〜V4を出力する。線状電極52はその並び順に4本ごとに共通接続されるとともに周期パルス電源40にそれぞれ接続されている。誘電体基板51の表面の全面には、線状電極52を覆うように、樹脂被膜や珪酸ガラス被膜などの絶縁性膜54が形成されている。線状電極52は、互いに隣接する線状電極同士の間隔が1.7μm乃至90μmの範囲であり、周期パルス電源は、パルスの立ち上がり時間が1μs以下のパルス電圧を発生する。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

絶縁性基体に互いに平行または略平行に配列されるともに絶縁性膜で被覆され、並び順に一定相数nを周期として、当該周期毎に共通に接続された複数の線状電極と、時間経過にともない、互いに一定の位相差で且つ同一パターンで電圧が周期的に変化するn相のパルス電圧を前記線状電極に印加する電源と、を備え、前記線状電極は、互いに隣接する線状電極同士の間隔が1.7μm乃至90μmの範囲であり、前記電源は、パルスの立ち上がり時間が1μs以下のパルス電圧を発生する、気体搬送装置。

IPC (1)：

B65G 54/02

FI (1)：

B65G54/02

F-Term (3)：

3F021AA03 , 3F021BA05 , 3F021CA11

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (9)

気流発生装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2006-183584 Applicant：株式会社東芝
特開昭49-066327
特開昭49-025663

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