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J-GLOBAL ID：201103028561688775

表面弾性波を用いたマイクロビーム照射領域検出方法

Inventor： 北澤 真一 ,  神谷 富裕
Applicant, Patent owner： 独立行政法人 日本原子力研究開発機構
Agent (11)： 社本 一夫 ,  小野 新次郎 ,  小林 泰 ,  千葉 昭男 ,  富田 博行 ,  桜井 周矩 ,  神田 藤博 ,  田中 英夫 ,  細川 伸哉 ,  深澤 憲広 ,  平山 晃二
Gazette classification：特許公報
Application number (International application number)：2004232212
Publication number (International publication number)：2006047244
Patent number：4448948
Application date： Aug. 09, 2004
Publication date： Feb. 16, 2006
Claim (excerpt)：

【請求項1】 標的物質に、マイクロメートルレベルのビーム形状をもつ電子、軽イオン及び重イオンから選択される粒子線を、照射することによって励起する表面弾性波を用いて、照射面におけるビームの形状、強度、頻度を測定する、表面弾性波を用いたマイクロビーム照射領域検出方法。

IPC (3)：

G01T 1/29 ( 200 6.01) ,  G01N 29/00 ( 200 6.01) ,  G21K 5/04 ( 200 6.01)

FI (3)：

G01T 1/29 A ,  G01N 29/00 501 ,  G21K 5/04 C

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (9)

• 荷電粒子ビーム計測装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平11-325021   Applicant：株式会社日立製作所
• 特開昭61-062887
  
• 特開昭63-274891
  
• 材料厚さの非接触測定方法及び装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2001-340664   Applicant：川崎製鉄株式会社
• 表面検査装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平10-351440   Applicant：株式会社東芝, 東芝エンジニアリング株式会社
• 特開昭58-131557
  
• 特開昭48-077884
  
• 圧電型ガスセンサ及びその製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平3-343418   Applicant：三洋電機株式会社
• アルミニウム合金とこれを用いたビーム検知用素子およびその製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平11-218209   Applicant：株式会社フジクラ, スカイアルミニウム株式会社