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J-GLOBAL ID:201103039193860580

複素誘電率測定装置、複素誘電率測定方法及びプログラム

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (2): 鷲田 公一 ,  飯沼 和人
Gazette classification:再公表公報
Application number (International application number):JP2009001248
Publication number (International publication number):WO2009116301
Application date: Mar. 19, 2009
Publication date: Sep. 24, 2009
Summary:
複雑な測定器具を必要とすることなく、構造が単純な測定フィクスチャを用いて、低誘電率材料の複素誘電率をマイクロ波領域において高精度に測定することができる複素誘電率測定装置、複素誘電率測定方法及びプログラム。複素誘電率測定装置(100)は、フィクスチャ(110)、同軸コネクタ(120)、ネットワークアナライザ(130)、及び演算処理装置140を備え、フィクスチャ(110)は、平坦面が平行に対向配置された円形の第1の電極(113)及び第2の電極(111)と、第1の電極(113)の中心に開口した円形開口孔(113b)と、第2の電極(111)の中心から、第1の電極(113)の円形開口孔(113b)を経由して外部導体(125)の内部を外方に向かって延びる中心導体(117)とを備える。
Claim (excerpt):
平坦面が平行に対向配置された円形の第1及び第2電極と、 前記第1電極の中心に開口した円形開口孔の外周部から、前記第2電極と反対方向の外方に向かって突出する円筒形状の外部導体と、 前記第2電極の中心から、前記第1電極の円形開口孔を経由して前記外部導体の内部を外方に向かって延びる中心導体と、 前記第1電極と前記第2電極との間に挟まれた円筒形状の試料に対して、前記外部導体と前記中心導体からなる同軸線路に沿ってTEM(Transverse Electromagnetic Wave)電磁波を入力するとともに、前記試料に作用したTEM電磁波を取得する取得手段と、 取得したTEM電磁波に基づいて、試料の複素誘電率を測定する測定手段と、 を備える複素誘電率測定装置。
IPC (1):
G01N 22/00
FI (4):
G01N22/00 Y ,  G01N22/00 S ,  G01N22/00 X ,  G01N22/00 L
Patent cited by the Patent:
Cited by applicant (3)

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