熱物性測定装置および熱伝導イメージング装置

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2010005377
Publication number (International publication number)：2011145138
Application date： Jan. 14, 2010
Publication date： Jul. 28, 2011
Summary：

【課題】ある加熱位置を中心とした面内方向の熱拡散率を得ることができ、かつ加熱位置を中心とした熱の伝播のイメージそのものを得ることができる熱物性測定装置を提供する。【解決手段】加熱レーザ2と、測温レーザ5と、加熱レーザビーム移動機構であるXYステージ11bと、測温レーザビームの試料表面からの反射光を検出する検出器13と、試料移動機構であるXYステージ11aと、前記試料表面の反射率の温度依存性を用いて試料表面の温度変化を検出する手段と、制御機器15とを備えた熱物性測定装置であって、制御機器15は、加熱レーザビームの試料表面に対する照射位置を固定しつつ、かつ、測温レーザビームの試料表面に対する照射位置を走査するようにXYステージ11a及びXYステージ11bを動作制御する。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

試料表面を点加熱するための加熱レーザビームを発する加熱レーザと、試料表面に集光する測温レーザビームを発する測温レーザと、加熱レーザビームを試料表面の任意の場所に照射するための加熱レーザビーム移動機構と、測温レーザビームの試料表面からの反射光を検出する手段と、試料をXY動作させるための試料移動機構と、前記試料表面の反射率の温度依存性を用いて試料表面の温度変化を検出する手段と、前記加熱レーザビーム移動機構と試料移動機構との動作を制御する制御手段とを備えた熱物性測定装置であって、前記制御手段は、加熱レーザビームの試料表面に対する照射位置を固定しつつ、かつ、測温レーザビームの試料表面に対する照射位置を走査するように加熱レーザビーム移動機構及び試料移動機構を動作制御することを特徴とする熱物性測定装置。

IPC (1)：

G01N 25/18

FI (1)：

G01N25/18 H

F-Term (7)：

2G040AB07 , 2G040BA25 , 2G040CA02 , 2G040CA12 , 2G040CA23 , 2G040EA06 , 2G040EA11

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (6)

特開平3-189547
特開昭63-058242
試料の物理的性質の測定装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2000-038982 Applicant：科学技術振興事業団

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