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J-GLOBAL ID:201103048595211375

エレクトロクロミックフィルムとその製造方法及びエレクトロクロミックフィルム表示装置

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Gazette classification:特許公報
Application number (International application number):2006514864
Patent number:4474554
Application date: Jun. 21, 2005
Claim (excerpt):
【請求項1】真空室内において、 (a)絶縁性基板を常温に維持し、 (b)(b-1)絶縁性基板から所定の離間位置に、透明又は有色電極膜積層用のターゲットを置き、真空室内の酸素雰囲気圧を4〜6Paに保持し、 (b-2)該ターゲットにレーザーを照射して、絶縁性基板上に、透明又は有色電極膜を積層し、次いで、 (c)(c-1)上記所定の離間位置に、無機アモルファス又は結晶化イオン伝導透明膜積層用のターゲットを置き、真空室内の酸素雰囲気圧を19〜21Paに保持し、 (c-2)該ターゲットにレーザーを照射して、透明又は有色電極膜の表面に、無機アモルファス又は結晶化イオン伝導透明膜を積層し、次いで、 (d)(d-1)上記所定の離間位置に、発色イオンドープの無機アモルファス発色膜積層用のターゲットを置き、真空室内の酸素雰囲気圧を6〜8Paに保持し、 (d-2)該ターゲットにレーザーを照射して、無機アモルファス又は結晶化イオン伝導透明膜の表面に、発色イオンドープの無機アモルファス発色膜を積層し、次いで、 (e)(e-1)上記所定の離間位置に、透明電極膜積層用のターゲットを置き、真空室内の酸素雰囲気圧を4〜6Paに保持し、 (e-2)該ターゲットにレーザーを照射して、発色イオンドープの無機アモルファス発色膜の表面に、透明電極膜を積層する ことを特徴とするエレクトロクロミックフィルムの製造方法。
IPC (1):
G02F 1/153 ( 200 6.01)
FI (1):
G02F 1/153
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (6)
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