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J-GLOBAL ID：201103070741735077

カンチレバー製造方法

Inventor： 野島 昭信 ,  白砂 健司
Applicant, Patent owner： TDK株式会社
Agent (1)： 酒井 宏明
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2010018431
Publication number (International publication number)：2011158283
Application date： Jan. 29, 2010
Publication date： Aug. 18, 2011
Summary：

【課題】より細くかつ耐久性の高い探針を備えるカンチレバーを製造することができるカンチレバー製造方法を提供することを課題とする。【解決手段】板状の梁部と、梁部の一方の端部を支持する支持部と、梁部の支持部に支持されている側とは反対側の端部に配置された探針とで構成され、走査型プローブ顕微鏡に用いるカンチレバーの製造方法であって、試料からバルクを切り出すバルク切り出し工程と、バルクを梁部に接合させる接合工程と、バルクに収束イオンビームを照射し、探針の針部を作成する針部加工工程と、を有することで上記課題を解決する。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

板状の梁部と、前記梁部の一方の端部を支持する支持部と、前記梁部の前記支持部に支持されている側とは反対側の端部に配置された探針とで構成され、走査型プローブ顕微鏡に用いるカンチレバーの製造方法であって、 試料からバルクを切り出すバルク切り出し工程と、 前記バルクを梁部に接合させる接合工程と、 前記バルクに収束イオンビームを照射し、探針の針部を作成する針部加工工程と、を有することを特徴とするカンチレバー製造方法。

IPC (2)：

G01Q 60/38 ,  G01Q 70/16

FI (2)：

G01N13/16 101J ,  G01N13/10 111M

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (6)

• 加工用プローブ及び加工装置並びに加工用プローブの製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2005-034731   Applicant：エスアイアイ・ナノテクノロジー株式会社
• 原子間力顕微鏡を用いた微細加工方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2009-068503   Applicant：エスアイアイ・ナノテクノロジー株式会社
• 原子間力顕微鏡の加工用ダイヤモンド探針の観察方法及び加工方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2006-332085   Applicant：エスアイアイ・ナノテクノロジー株式会社
• 探針部の製造方法およびカンチレバーの製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平10-004775   Applicant：株式会社ニコン
• 加工用プローブ
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2004-072658   Applicant：エスアイアイ・ナノテクノロジー株式会社
• 走査型プローブ顕微鏡用探針
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2002-342286   Applicant：セイコーインスツルメンツ株式会社