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J-GLOBAL ID：200903068394069603

加工用プローブ及び加工装置並びに加工用プローブの製造方法

Inventor：
足立 達哉

About 足立 達哉

, 
皆藤 孝

About 皆藤 孝


Applicant, Patent owner：
エスアイアイ・ナノテクノロジー株式会社

About エスアイアイ・ナノテクノロジー株式会社


Agent (1)： 松下 義治
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2005034731
Publication number (International publication number)：2006221981
Application date： Feb. 10, 2005
Publication date： Aug. 24, 2006
Summary：
【課題】 決められた形状の加工針を先端に有し、常に一定の品質を維持すること。【解決手段】 サンプルに対向配置されたカンチレバー10と、該カンチレバー10の先端にサンプルに対向した状態で該サンプルの表面に接触可能に設けられ、先端が先鋭化された加工針11とを有する加工用プローブ2の製造方法であって、複数のダイヤモンド小片の中から、カンチレバー10の先端寸法に合うサイズで、且つ、突起を有するダイヤモンド小片を選択する選択工程と、該選択工程後、選択したダイヤモンド小片を加工台上に移動させる移動工程と、該移動工程後、集束ビームにより突起をさらに任意の形状で先鋭化するようエッチング加工すると共に、突起の基端側をカンチレバー10の先端に集束ビームを利用して取り付けて加工針11を作製する加工工程とを備えている加工用プローブ2の製造方法を提供する。【選択図】 図2
Claim (excerpt)：
サンプルに対向配置されたカンチレバーと、 該カンチレバーの先端に前記サンプルに対向した状態で該サンプルの表面に接触可能に設けられ、先端が先鋭化された加工針とを有する加工用プローブであって、 前記加工針は、ダイヤモンド小片から集束ビームにより任意の形状に加工されたものであることを特徴とする加工用プローブ。
IPC (3)：
H01J 37/30 ,  G01N 13/10 ,  H01J 9/14
FI (3)：
H01J37/30 Z ,  G01N13/10 ,  H01J9/14 Z
F-Term (1)：
5C034AA02
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (1)
  • 走査型プローブ顕微鏡装置
    Gazette classification：公表公報   Application number：特願平8-505983   Applicant：ジェネラルナノテクノロジーエルエルシー
Cited by examiner (7)
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