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J-GLOBAL ID：201103072845552201

太陽電池およびその製造方法

Inventor：
ピーレークス, ディーテル

About ピーレークス, ディーテル


Applicant, Patent owner：
エーエスエム インターナショナル エヌ. ヴェー.

About エーエスエム インターナショナル エヌ. ヴェー.


Agent (1)： 特許業務法人 武和国際特許事務所
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2011126706
Publication number (International publication number)：2011249813
Application date： May. 20, 2011
Publication date： Dec. 08, 2011
Summary：
【課題】少数電荷キャリアの有効ライフタイムが長い(すなわちτeff≧500μs)太陽電池の経済的生産を可能にする方法を提供する。【解決手段】少数電荷キャリアの有効ライフタイム(τeff)が少なくとも500μsである太陽電池を製造する方法は、 半導体ウェーハを用意することと、 金属酸化物層を表面にALD堆積することによって当該ウェーハの表面を不動態化することとを含み、ALD堆積は、 (i)当該表面を第1の前駆体に暴露することによって、当該表面を第1の前駆体で被覆するステップと、 (ii)当該表面を第2の前駆体に暴露することによって、当該表面を第2の前駆体で被覆するステップと、を順次かつ交互に行うことによって実施され、 ステップ(i)および(ii)の少なくとも一方は、当該表面の被覆が飽和レベルに達する前に停止される。【選択図】図1
Claim (excerpt)：
少数電荷キャリアの有効ライフタイム(τeff)が少なくとも500μsである太陽電池を製造する方法であって、 半導体ウェーハを用意することと、 金属酸化物層を前記表面にALD堆積することによって前記ウェーハの表面を不動態化することであって、前記ALD堆積は、 (i)前記表面を第1の前駆体に暴露することによって前記表面を前記第1の前駆体で被覆するステップと、 (ii)前記表面を第2の前駆体に暴露することによって前記表面を前記第2の前駆体で被覆するステップと、 を順次かつ交互に行うことによって実施されることと、 を含み、 ステップ(i)および(ii)の少なくとも一方は、前記表面の前記被覆が飽和レベルに達する前に停止される方法。
IPC (1)：
H01L 31/04
FI (1)：
H01L31/04 H
F-Term (3)：
5F151AA02 ,  5F151AA03 ,  5F151GA11
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (3) Cited by examiner (3)

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