ターボ分子ポンプ

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：永井冬紀
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2010031232
Publication number (International publication number)：2011169165
Application date： Feb. 16, 2010
Publication date： Sep. 01, 2011
Summary：

【課題】ポンプケーシング固定用のボルトに剪断力が作用した際の、ロータ回転方向のボルト変形量をより大きくすることができるターボ分子ポンプの提供。【解決手段】ターボ分子ポンプは、複数のボルト孔210が形成された吸気口フランジ21bを有するポンプケーシングと、ポンプケーシング内に設けられた固定翼と、回転翼が形成されるとともにポンプケーシング内で高速回転駆動されるロータと、吸気口フランジ21bのシール面側にボルト孔210毎に設けられ、底部を貫通するようにボルト孔210が形成された円形凹部212と、を備え、円形凹部212は、ボルト孔210に対して径方向内側および外側に形成される径方向ボルト変形スペースS2と、ボルト孔210に対してロータ回転逆方向に形成され、径方向ボルト変形スペースS2よりも大きな周方向ボルト変形スペースS1とを有する。【選択図】図3

Claim (excerpt)：

複数のボルト孔が形成された吸気口フランジを有するポンプケーシングと、前記ポンプケーシング内に設けられた固定翼と、回転翼が形成されるとともに前記ポンプケーシング内で高速回転駆動されるロータと、前記吸気口フランジのシール面側に前記ボルト孔毎に設けられ、底部を貫通するように前記ボルト孔が形成された凹部と、を備え、前記凹部は、前記ボルト孔に対して径方向内側に形成される第1の径方向空間と、前記ボルト孔に対して径方向外側に形成される第2の径方向空間と、前記ボルト孔に対してロータ回転逆方向に形成され、前記第1および第2の径方向空間よりも大きな周方向空間とを有することを特徴とするターボ分子ポンプ。

IPC (1)：

F04D 19/04

FI (1)：

F04D19/04 H

F-Term (5)：

3H131AA01 , 3H131AA02 , 3H131AA07 , 3H131BA09 , 3H131CA31

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

回転式真空ポンプ、真空装置およびポンプ接続構造
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2005-114519 Applicant：株式会社島津製作所
真空ポンプ
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2001-352252 Applicant：ビーオーシーエドワーズテクノロジーズ株式会社
真空ポンプ
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2002-267257 Applicant：ビーオーシーエドワーズテクノロジーズ株式会社

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