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J-GLOBAL ID:201103083200584810

質量分析装置

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (2): 井上 学 ,  戸田 裕二
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2010095617
Publication number (International publication number):2011228071
Application date: Apr. 19, 2010
Publication date: Nov. 10, 2011
Summary:
【課題】 小型・簡単な構成で、質量分析部へイオンを高効率に導入して分解能を向上させる。【解決手段】 質量分析部へ試料を導入する試料導入配管部と質量分析部との間に、間欠的にガス導入を行って試料通過を制御するための開閉機構を設け、試料導入配管部の高圧側、つまり、開閉機構に対して質量分析部とは反対側の圧力が100Pa以上10,000Pa以下となるように排気するポンプ機構を備えた質量分析装置。【選択図】 図1
Claim (excerpt):
試料を質量分析する質量分析部と、 前記質量分析部へ試料を導入する試料導入配管部と、 前記試料導入配管部と前記質量分析部との間に設けられ、前記試料の通過制御のための開閉を行う開閉機構と、 前記開閉機構の制御を行う開閉制御部と、 前記試料導入配管部の前記開閉機構に対して前記質量分析部とは反対側を100Pa以上10,000Pa以下となるように排気する第1のポンプと、 前記第1のポンプと前記試料導入配管部とをつなぐ排気管とを有することを特徴とする質量分析装置。
IPC (2):
H01J 49/10 ,  G01N 27/62
FI (2):
H01J49/10 ,  G01N27/62 F
F-Term (10):
2G041CA01 ,  2G041DA07 ,  2G041EA05 ,  2G041GA08 ,  2G041GA14 ,  2G041GA25 ,  5C038GG08 ,  5C038GH04 ,  5C038GH13 ,  5C038GH15
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (6)
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