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J-GLOBAL ID：201202215344340637   Reference number：12A0755599

ナノワイヤを用いた超高性能センサー及びエネルギー変換素子の研究

Author (12)： SHINGUBARA SHOZO (関西大 システム理工) ,  TANI HIROSHI (関西大 システム理工) ,  ARAI YASUHIKO (関西大 システム理工) ,  SAITO KEN'ICHI (関西大 システム理工) ,  SUZUKI MASATO (関西大 システム理工) ,  TAKAHASHI TOMOKAZU (関西大 システム理工) ,  SHIMIZU TOMOHIRO (関西大 システム理工) ,  OMURA YASUHISA (関西大 システム理工) ,  SAITO TADASHI (関西大 システム理工) ,  INADA MITSURU (関西大 システム理工) ,  ITO HIROYOSHI (関西大 システム理工) ,  KOTO MAKOTO (キヤノン)
Material： 技苑  (Innovative Technology World)
Issue： 134  Page： 35-42  Publication year： Mar. 31, 2012 
JST Material Number： S0825A  ISSN： 0285-6301  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *nanowire ,  functional device ,  etching ,  chemical vapor deposition ,  metallic thin film ,  catalytic reaction ,  silver nitrate ,  concentration dependence ,  electroplating ,  anodic oxidation ,  *solar cell ,  *porous medium ,  plating ,  magnetic reluctance ,  sulfide(chalcogenide) ,  tin compound ,  zinc compound ,  *copper compound ,  *speed sensor ,  via hole ,  electroless plating ,  MOSFET ,  compound semiconductor ,  wet etching
Semi thesaurus term： エネルギー変換素子 ,  wet etching ,  メタルアシストエッチング ,  埋め込みめっき ,  giant magnetoresistance ,  *acceleration sensor ,  through silicon via

JST classification (4)： Electric conduction in crystalline semiconductors  (BM03043X) ,  Solar cell  (NC03084O) ,  Measuring methods and instruments of time,speed,acceleration,angular veloc?  (AD05040K) ,  Manufacturing technology of solid-state devices  (NC03030V)

Terms in the title (6)： ナノワイヤ ,  高性能 ,  センサー ,  エネルギー ,  変換素子 ,  研究