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J-GLOBAL ID：201202283636653003   Reference number：12A0764683

レーザ小径深穴加工-熱の蓄積による深穴の実現

Author (3)： HIDAI HIROFUMI (千葉大) ,  ITO SHO (東京工大) ,  TOKURA HITOSHI (東京工大)
Material： 光アライアンス  (Optical Alliance)
Volume： 23  Issue： 6  Page： 29-32  Publication year： Jun. 01, 2012 
JST Material Number： L1746A  ISSN： 0917-026X  CODEN： HARAEW  Document type： Article
Article type： 解説  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *laser beam machining ,  laser beam machine ,  *deep hole drilling ,  *small diameter ,  ultraviolet laser ,  borosilicate glass ,  wafer ,  alumina ,  cemented carbide ,  aluminum base alloy ,  high speed steel ,  Stainless Steel ,  Si wafer

JST classification (2)： Applications of lasers  (BD04100V) ,  Special machining  (QC04000Y)

Terms in the title (5)： レーザ ,  小径 ,  深穴加工 ,  蓄積 ,  深穴