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J-GLOBAL ID:201203000022034996

偏光素子ユニットおよび偏光光照射装置

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 長澤 俊一郎
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2011069482
Publication number (International publication number):2012203294
Application date: Mar. 28, 2011
Publication date: Oct. 22, 2012
Summary:
【課題】ワイヤーグリッド偏光素子を回転させるときに、偏光素子に力を加えず歪が生じないようにすること。【解決手段】複数のワイヤーグリッド偏光素子1を、偏光子支持部材3に取り付け、各々の端部を少しずつ重ねてフレーム2に並べて配置する。フレーム2にピン4を設け、ピン4に偏光子支持部材3を回転可能に取り付け、フレーム2には、ピン4を挟んで偏光子支持部材3のエッジ側面を押す2個のねじ5a,5bを設ける。2個のねじ5a,5bを押し引きすることにより、偏光子支持部材3はピン4を支点として回転移動し、ワイヤーグリッド偏光素子1もその平面内で回転移動する。ワイヤーグリッド偏光素子1の一辺だけを押しひきして回転させるようにしたので、回転時に偏光素子1には力が加わらずひずみが生じない。このため出射する偏光光の偏光軸の回転を防ぐことができる。【選択図】 図5
Claim (excerpt):
光源からの光を偏光する偏光素子ユニットであって、 複数のワイヤーグリッド偏光素子を、各々の端部が上記光源からの光が通過する方向に重なるようにフレーム内に並べて配置し、 上記フレームには、並べて配置した個々のワイヤーグリッド偏光素子を、該ワイヤーグリッド偏光素子の平面内で回転移動させる回転移動手段が設けられ、 上記回転移動手段は、 フレームに設けたピンと、 矩形状に整形されたワイヤーグリッド偏光子の1辺を固定するとともに、上記ピンに回転可能に嵌り合う孔を形成した偏光子支持部材と、 上記偏光子支持部材のエッジ側面を、上記ピンを挟んで、ワイヤーグリッド偏光素子の平面と平行な方向に押す2個のねじとを備え、 上記2個のねじを押し引きにより、上記ピンを支点として、上記偏光子支持部材に固定されたワイヤーグリッド偏光素子が、該ワイヤーグリッド偏光素子の平面内で回転移動する ことを特徴とする偏光素子ユニット。
IPC (2):
G02B 5/30 ,  G02F 1/133
FI (3):
G02B5/30 ,  G02F1/1337 ,  G02F1/13357
F-Term (17):
2H090HC18 ,  2H090HC19 ,  2H090LA06 ,  2H090MB12 ,  2H090MB14 ,  2H149AA21 ,  2H149AB02 ,  2H149BA04 ,  2H149BA23 ,  2H149BB28 ,  2H191FA30X ,  2H191FA30Z ,  2H191FC10 ,  2H191FC33 ,  2H191FC41 ,  2H191GA08 ,  2H191LA02
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (16)
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