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J-GLOBAL ID：201203010101024853

非蒸発型ゲッターポンプ

Inventor： 渡辺 文夫
Applicant, Patent owner： 有限会社真空実験室
Agent (1)： 岡本 啓三
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2011195658
Publication number (International publication number)：2012225337
Application date： Sep. 08, 2011
Publication date： Nov. 15, 2012
Summary：

【課題】加熱用電力を外側から容器内に供給するための電流導入端子を不要とし、容易に加熱することができる非蒸発型ゲッターポンプを提供することを目的とする。【解決手段】容器51と、容器51の内壁面に設けられた非蒸発型ゲッター担体52と、容器51の外壁面に設けられ、非蒸発型ゲッター担体52を容器壁を介して熱伝導により加熱するヒータ54とを有する。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

容器と、 前記容器の内壁面に設けられた非蒸発型ゲッター担体と、 前記容器の外壁面に設けられ、前記非蒸発型ゲッター担体を容器壁を介して熱伝導により加熱するヒータと を有する非蒸発型ゲッターポンプ。

IPC (2)：

F04B 37/04 ,  F04B 37/02

FI (2)：

F04B37/04 ,  F04B37/02 A

F-Term (4)：

3H076AA24 ,  3H076BB24 ,  3H076BB43 ,  3H076CC46

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (3)

• 高いガス収着速度を有するゲッターポンプ
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平10-287866   Applicant：サエス・ゲテルス・ソチエタ・ペル・アチオニ
• ゲッタ材料の賦活の低温トリガのための組合せ材料並びにそれを含有するゲッタ体乃至装置
  Gazette classification：公表公報   Application number：特願平9-528357   Applicant：サエスゲッタースソチエタペルアツィオニ
• Ti-W系非蒸発型ゲッター
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平3-323245   Applicant：日本重化学工業株式会社