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J-GLOBAL ID：201203025523943778

インプリント・プロセスの分離段階における歪みと動特性の制御

Inventor： クスナットディノヴ,ニヤズ ,  シュ,フランク・ワイ ,  メイッスル,マリオ・ヨハネス ,  ミラー,マイケル・エヌ ,  トンプソン,エクロン ,  シュミッド,ゲラルド ,  ニムマカヤラ,パワン・ケイ ,  ル,シャオミング ,  チョイ,ビュン-ジン
Applicant, Patent owner： モレキュラー・インプリンツ・インコーポレーテッド
Agent (2)： 山川 政樹 ,  山川 茂樹
Gazette classification：公表公報
Application number (International application number)：2011533187
Publication number (International publication number)：2012507141
Application date： Oct. 26, 2009
Publication date： Mar. 22, 2012
Summary：

インプリント・リソグラフィ・プロセスの分離プロセスにおける頑強層分離を改善するためのシステムおよび方法について述べる。この方法は、インプリントする基板とテンプレート間の歪みを一致させる段階、分離中にテンプレートおよび/または基板に印加される力を変更または修正する段階、または分離プロセスの動特性を変更または修正する段階を含む。

Claim (excerpt)：

基板をパターニングする方法であって、 前記基板の歪み特性を、第1のレリーフ・パターンを有するテンプレートに一致させる段階と、 前記テンプレート上の前記第1のレリーフ・パターンに対応する第2のレリーフ・パターンを前記基板に転写する段階であって、前記基板と前記テンプレート間の、前記基板上に付着された凝固層を形成する成形可能液体に、前記テンプレート上の前記第1のレリーフ・パターンに対応する前記第2のレリーフ・パターンを形成する、転写する段階を含む転写する段階と、 前記凝固層から前記テンプレートを分離する段階とを含む方法。

IPC (2)：

H01L 21/027 ,  B29C 59/02

FI (2)：

H01L21/30 502D ,  B29C59/02 Z

F-Term (18)：

4F209AA36 ,  4F209AF01 ,  4F209AG05 ,  4F209AH33 ,  4F209AP01 ,  4F209AP11 ,  4F209AR01 ,  4F209PA02 ,  4F209PB01 ,  4F209PH02 ,  4F209PH27 ,  4F209PJ06 ,  4F209PN06 ,  4F209PN09 ,  4F209PN13 ,  4F209PQ14 ,  5F146AA31 ,  5F146AA34

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• ナノインプリント用スタンパ、ナノインプリント用スタンパの製造方法、およびナノインプリント用スタンパの表面処理剤
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2007-012128   Applicant：株式会社日立製作所, 国立大学法人茨城大学
• 加工装置及びデバイス製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2006-160510   Applicant：キヤノン株式会社
• 基板上に配置された固化層からモールドを分離させる方法
  Gazette classification：公表公報   Application number：特願2007-553123   Applicant：モレキュラー・インプリンツ・インコーポレーテッド