被測定物の測定方法

Inventor： , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：特許業務法人深見特許事務所
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2011002180
Publication number (International publication number)：2012145369
Application date： Jan. 07, 2011
Publication date： Aug. 02, 2012
Summary：

【課題】向上した測定感度と高い再現性を有する、被測定物の特性を測定する方法、ならびに、それに用いられる平板状の空隙配置構造体を提供すること。【解決手段】本発明は、平板状の空隙配置構造体に被測定物を保持し、上記空隙配置構造体に電磁波を照射し、上記空隙配置構造体で前方散乱または後方散乱された電磁波を検出し、上記前方散乱された電磁波の周波数特性に生じるディップ波形、または、上記後方散乱された電磁波の周波数特性に生じるピーク波形が、上記被測定物の存在により変化することに基づいて被測定物の特性を測定する測定方法であって、上記電磁波は、上記空隙配置構造体の主面に対して垂直な方向から照射され、上記空隙配置構造体の主面の面積に対して、上記空隙配置構造体の主面を含む平面上における上記電磁波のビームスポットの面積の比率が10%以上であることを特徴とする、測定方法である。【選択図】図3

Claim (excerpt)：

平板状の空隙配置構造体に被測定物を保持し、前記空隙配置構造体に電磁波を照射し、前記空隙配置構造体で前方散乱または後方散乱された電磁波を検出し、前記前方散乱された電磁波の周波数特性に生じるディップ波形、または、前記後方散乱された電磁波の周波数特性に生じるピーク波形が、前記被測定物の存在により変化することに基づいて被測定物の特性を測定する測定方法であって、前記電磁波は、前記空隙配置構造体の主面に対して垂直な方向から照射され、前記空隙配置構造体の主面の面積に対して、前記空隙配置構造体の主面を含む平面上における前記電磁波のビームスポットの面積の比率が10%以上であることを特徴とする、測定方法。

IPC (1)：

G01N 21/35

FI (1)：

G01N21/35 Z

F-Term (15)：

2G059AA01 , 2G059BB04 , 2G059BB10 , 2G059BB12 , 2G059DD13 , 2G059EE01 , 2G059EE02 , 2G059EE12 , 2G059GG01 , 2G059GG06 , 2G059HH01 , 2G059HH06 , 2G059JJ13 , 2G059JJ18 , 2G059JJ22

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (6)

タイル様周期化金属膜センサ
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2007-012772 Applicant：アジレント・テクノロジーズ・インク
テラヘルツ波を測定するための装置及び方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2008-300302 Applicant：キヤノン株式会社
一体型構造体、測定装置、方法およびプログラム
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2005-188839 Applicant：株式会社アドバンテスト, 独立行政法人理化学研究所, 株式会社ミツカングループ本社

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Cited by examiner (1)

タイル様周期化金属膜センサ
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2007-012772 Applicant：アジレント・テクノロジーズ・インク

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