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J-GLOBAL ID：201203055425230271
マイクロプラズマ発生器及びその応用
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
秋元 輝雄
Gazette classification：公表公報
Application number (International application number)：2012508591
Publication number (International publication number)：2012525684
Application date： Apr. 27, 2010
Publication date： Oct. 22, 2012
Summary：
【課題】連続する線状又はリング状のプラズマを発生するマイクロプラズマ発生器を提供する。【解決手段】低温、大気圧下で使用するマイクロプラズマ発生器100は、誘電体基板の上に少なくとも一つの金属細片101を備えており、該金属細片101の第1の端部107は接地平面105に接続されていると共に、第2の端部110は接地電極111に隣接している。また、金属細片101の第2の端部110と接地電極111との間には隙間115が設けられている。細片101には高周波電力が供給されており、その周波数は、細片101の長さが該細片101に沿って移動する波長(λ)の1/4の奇数倍となるように選択されている。マイクロプラズマは、細片101の第2の端部110と接地電極111との間の隙間115に、その領域の電場に起因して発生する。【選択図】図1B
Claim (excerpt)：
第1の表面及び第2の表面を有する基板と、
前記基板の第1の表面の上に設けた第1の端部及び第2の端部を有し、かつ動作周波数(λ)の1/4の奇数倍の長さを有する細片と、
前記基板の前記第2の表面上に設けられ、かつ前記細片の第1の端部が接続された接地平面と、
前記細片の第2の端部に隣接し、かつ前記接地平面に接続された接地電極とを備え、
前記細片の第2の端部と前記接地電極との間には放電隙間が設けられ、
さらに、前記細片への給電用電源への接続のためのコネクタと
を備えたことを特徴とするプラズマ発生器。
IPC (3)：
H05H 1/24
, H05H 1/46
, C23C 16/50
H05H1/24
, H05H1/46 B
, C23C16/50
4K030BA29
, 4K030FA01
, 4K030JA09
, 4K030KA30
, 4K030LA16
Cited by examiner (3)
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マイクロ波励起プラズマ装置及びシステム
Gazette classification：公開公報
Application number：特願2004-290339
Applicant：国立大学法人東京大学
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吹き出し形マイクロ波励起プラズマ処理装置
Gazette classification：公開公報
Application number：特願2006-152634
Applicant：桂井誠
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加工方法及び装置
Gazette classification：公開公報
Application number：特願2002-029233
Applicant：松下電器産業株式会社
Article cited by the Patent：
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