吹き出し形マイクロ波励起プラズマ処理装置

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2006152634
Publication number (International publication number)：2007299720
Application date： May. 01, 2006
Publication date： Nov. 15, 2007
Summary：

【課題】大気圧下で又は大気圧付近の圧力で、マイクロ波電力により低温の非熱平衡プラズマを安定して、ノズルから吹き出させ、被加工物にプラズマを使用したCVD(化学蒸着)、エッチング、アッシング、被加工物に溶断又は溶接、表面改質等の材料プロセシングを行う吹き出し形マイクロ波励起プラズマ処理装置を提供する。【解決手段】マイクロ波をマイクロ波入力部31から誘電体基板3に導入させ、誘電体基板3の一方の面に設けあられたマイクロストリップ線路1及びテーパー形状の導体11と他方の面に設けられたアース導体2との間を伝播させ、テーパー形状の導体11とアース導体2となる誘電体基板3の端部の断面であるマイクロ波出力部55から補助電極20が設けられた誘電体ガス管25に放射させ、誘電体ガス管25の内部にマイクロ波の電界を集中させ、誘電体ガス管25の一方の端部に設けられたノズルから吹き出すプラズマを発生させる吹き出し形マイクロ波励起プラズマ処理装置。【選択図】図6

Claim (excerpt)：

誘電体の基板と、前記基板の一方の端部に設けられた基板の厚みが徐々に小さくなる形状のテーパー部と、前記基板の第1の面の一方の端部からテーパー部が設けられた端部に渡って設けられたマイクロストリップ線路と、前記基板の第1の面の反対の第2の面の一方の端部からテーパー部が設けられた端部に渡って設けられたアース導体と、前記基板の一方の端部において、前記マイクロストリップ線路と前記アース導体との間にマイクロ波を入力するためのマイクロ波入力部と、前記基板のテーパー部の端部の断面において、テーパー形状の導体板とアース導体の間でマイクロ波が空間に放射されるマイクロ波出力部と、前記基板の内部に一方の端部からテーパー部が設けられた端部に渡って設けられたガスを流すためのチャンネルと、前記基板の一方の端部において、前記のチャンネルにガスを入力するためのガス入力部と、前記基板のテーパー部が設けられた端部の断面に設けられた、前記ガス入力部から入力されて前記チャンネルを沿って流れたガスが出るガス出口で、前記マイクロ波出力部でマイクロ波により発生したプラズマが吹き出るノズル部とを備えた吹き出し形マイクロ波励起ブラズマ処理装置。

IPC (2)：

H05H 1/24 , C23C 16/511

FI (2)：

H05H1/24 , C23C16/511

F-Term (2)：

4E082AA09 , 4K030KA30

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (6)

マイクロ波励起プラズマ装置及びシステム
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2004-290339 Applicant：国立大学法人東京大学
プラズマ処理装置及び方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2003-301222 Applicant：松下電器産業株式会社
加工方法及び装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2002-029233 Applicant：松下電器産業株式会社

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