マウント装置

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：西教圭一郎
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2010227866
Publication number (International publication number)：2012083141
Application date： Oct. 07, 2010
Publication date： Apr. 26, 2012
Summary：

【課題】熱膨張または熱収縮による被搭載物の位置ずれを抑え得るマウント装置を提供する。【解決手段】マウント装置は、被搭載物を搭載するための搭載板、搭載板を載置する基台、搭載板と基台との間に配設されて搭載板を支持する第1支持部材、第2支持部材および第3支持部材であって、搭載板の被搭載物を搭載する面に平行で互いに垂直な2方向をX方向およびY方向と定義するとき、基台に対する搭載板のX方向の動きを規制し、Y方向の動きを許容する第1支持部材、基台に対する搭載板のX方向の動きとY方向の動きとを許容する第2支持部材、および基台に対する搭載板のX方向の動きとY方向の動きとを許容する第3支持部材、ならびに、搭載板と基台との間に配設されて、基台に対する搭載板のX方向の動きとY方向の動きとを規制する規制部材を有する。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

上面に被搭載物を搭載するための搭載板、搭載板を載置する基台、搭載板と基台との間に配設されて搭載板を支持する第1支持部材、第2支持部材および第3支持部材であって、搭載板の上面に平行で互いに垂直な2方向をX方向およびY方向と定義するとき、基台に対する搭載板のX方向の動きを規制し、Y方向の動きを許容する第1支持部材、基台に対する搭載板のX方向の動きとY方向の動きとを許容する第2支持部材、および基台に対する搭載板のX方向の動きとY方向の動きとを許容する第3支持部材、ならびに搭載板と基台との間に配設されて、基台に対する搭載板のX方向の動きとY方向の動きとを規制する規制部材を有することを特徴とするマウント装置。

IPC (3)：

G01N 23/20 , H01J 37/244 , H01J 37/20

FI (4)：

G01N23/20 , H01J37/244 , H01J37/20 A , H01J37/20 E

F-Term (10)：

2G001AA01 , 2G001BA14 , 2G001BA18 , 2G001CA01 , 2G001GA01 , 2G001KA12 , 5C001AA03 , 5C001AA08 , 5C001DD02 , 5C033NN10

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

試料保持機構及び試料加工・観察装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2006-032146 Applicant：エスアイアイ・ナノテクノロジー株式会社
3点支持装置および3次元形状計測装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2004-259203 Applicant：キヤノン株式会社
無限軌道並進回転ステージ
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2000-276434 Applicant：独立行政法人産業技術総合研究所, 科学技術振興事業団

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