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J-GLOBAL ID：200903078572764430

試料保持機構及び試料加工・観察装置

Inventor：
荷田 昌克

About 荷田 昌克

, 
岡部 衛

About 岡部 衛


Applicant, Patent owner：
エスアイアイ・ナノテクノロジー株式会社

About エスアイアイ・ナノテクノロジー株式会社


Agent (3)： 志賀 正武 ,  高橋 詔男 ,  青山 正和
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2006032146
Publication number (International publication number)：2007213956
Application date： Feb. 09, 2006
Publication date： Aug. 23, 2007
Summary：
【課題】温度変化によって膨張、収縮したとしても保持している試料の位置を変化させること無く、正確に位置決め、保持することが可能な試料保持機構、及び、この試料保持機構を備えた試料加工・観察装置に提供する。【解決手段】試料加工・加工観察装置1は、試料保持機構20を備えている。試料保持機構20は、試料Sを保持する試料ホルダ21と、試料ホルダ21を着脱可能に支持するベース22とを備える。これらの間には、回転可能に支持する回転支持部27と、回転中心27aからX方向に向って摺動可能に支持するスライド支持部28と、X方向及びY方向に摺動可能に支持する当接支持部とが、着脱可能に設けられている。上面21aには、回転中心27aからY方向及びX方向に沿って配置され、試料Sの一辺S1及び他辺S2に当接するX方向位置決めピン31及びY方向位置決めピン32が設けられている。【選択図】図1
Claim (excerpt)：
上面に薄板状の試料を載置して保持する試料ホルダと、該試料ホルダを着脱可能に支持するベースとを備えた試料保持機構であって、 前記試料ホルダと前記ベースとの間には、前記試料ホルダを前記ベースに対して回転可能に支持する回転支持部と、 前記試料ホルダを前記ベースに対して、前記回転支持部の回転中心から所定のX方向に向って摺動可能に支持するスライド支持部と、 前記試料ホルダを前記ベースに対して、前記X方向及び前記X方向に直交するY方向に摺動可能に支持する少なくとも一つの当接支持部とが、それぞれ着脱可能に設けられ、 前記試料ホルダの前記上面には、前記回転支持部の前記回転中心から前記Y方向に沿って配置され、前記試料の一辺に当接して前記試料を前記X方向に位置決めするX方向位置決め部材と、 前記回転支持部の前記回転中心から前記X方向に沿って配置され、前記試料の前記一辺と隣り合う他辺に当接して前記試料を前記Y方向に位置決めするY方向位置決め部材とが設けられていることを特徴とする試料保持機構。
IPC (5)：
H01J 37/20 ,  G01N 23/225 ,  G01N 13/10 ,  H01J 37/30 ,  H01J 37/317
FI (6)：
H01J37/20 A ,  G01N23/225 ,  G01N13/10 F ,  G01N13/10 D ,  H01J37/30 Z ,  H01J37/317 D
F-Term (26)：
2G001AA05 ,  2G001BA06 ,  2G001BA07 ,  2G001BA30 ,  2G001CA03 ,  2G001CA05 ,  2G001CA10 ,  2G001GA04 ,  2G001GA06 ,  2G001JA12 ,  2G001LA11 ,  2G001MA05 ,  2G001PA07 ,  2G001PA12 ,  2G001PA14 ,  2G001PA16 ,  2G001QA01 ,  2G001QA03 ,  2G001QA10 ,  5C001AA03 ,  5C001AA04 ,  5C001AA06 ,  5C001CC04 ,  5C001CC07 ,  5C034AA02 ,  5C034DD09
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (1) Cited by examiner (5)
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