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J-GLOBAL ID:201203061132190569
光学検出デバイスを作製する方法
Inventor:
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Applicant, Patent owner:
Agent (3):
鮫島 睦
, 田村 恭生
, 言上 惠一
Gazette classification:公表公報
Application number (International application number):2011544935
Publication number (International publication number):2012514748
Application date: Dec. 31, 2009
Publication date: Jun. 28, 2012
Summary:
基板(2)上に複数の金属ナノ球体を作製するオペレーションを含む光学検出デバイスを製造する方法。当該プロセスは、以下のオペレーションを含むことを特徴とする:- 金属ナノ球体を受容することができる複数のリソグラフィーナノ構造体(4a、4b、4c)を上記基板(2)上に形成すること(100)、- 各リソグラフィーナノ構造体(4a、4b、4c)においてそれぞれ金属のナノ球体が形成されるように、少なくとも一種の金属の自己凝集析出を実行すること(102)。
Claim (excerpt):
基板(2)上に複数の金属ナノ球体を作製するオペレーションを含む光学検出デバイスの作製方法であって、
以下のオペレーションを含むことを特徴とする方法:
- 金属ナノ球体を受容することができる複数のリソグラフィーナノ構造体(4a、4b、4c)を基板(2)上に形成すること(100)、
- 各リソグラフィーナノ構造体(4a、4b、4c)においてそれぞれ金属のナノ球体が形成されるように、少なくとも一種の金属の自己凝集析出を行うこと(102)。
IPC (3):
G01N 21/64
, G01N 21/65
, B82Y 40/00
FI (3):
G01N21/64 Z
, G01N21/65
, B82Y40/00
F-Term (12):
2G043EA01
, 2G043EA03
, 2G043GA03
, 2G043GA07
, 2G043GB01
, 2G043GB02
, 2G043GB16
, 2G043GB28
, 2G043HA01
, 2G043KA02
, 2G043KA03
, 2G043KA09
Patent cited by the Patent:
Article cited by the Patent:
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