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J-GLOBAL ID：201203073107070751

静電容量型加速度センサ

Inventor：
加藤 静一

About 加藤 静一

, 
合田 祐司

About 合田 祐司


Applicant, Patent owner：
旭化成エレクトロニクス株式会社

About 旭化成エレクトロニクス株式会社


Agent (3)： 森 哲也 ,  小西 恵 ,  田中 秀▲てつ▼
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2011042328
Publication number (International publication number)：2012181030
Application date： Feb. 28, 2011
Publication date： Sep. 20, 2012
Summary：
【課題】大きな加速度が加わった場合にも、上層支持部と下層支持部との境界部分が損傷を受けることがなく、信頼性の高い静電容量型加速度センサを提供する。【解決手段】基板101と、基板101上に固定された固定電極121、122と、固定電極121、122の上面に対向するように配置された可動電極105と、可動電極105を基板101上面に直交する方向に変位可能に基板101上に弾性支持する弾性支持部180と、を備え、弾性支持部180は、基板101上に固定された絶縁体からなる下層支持部121、122と、下層支持部121、122上に固定された上層支持部117と、基板101上面に沿って長い形状を有し、且つ一端部が上層支持部107に結合され他端部が可動電極105に結合された梁部106と、を有し、下層支持部121、122は、梁部106と上層支持部107との結合部分の直下に位置する部分に空隙部130を有する。【選択図】 図1
Claim (excerpt)：
基板と、 前記基板上に固定された固定電極と、 前記固定電極の上面に対向するように配置された可動電極と、 前記可動電極を前記基板上面に直交する方向に変位可能に前記基板上に弾性支持する弾性支持部と、 を備え、 前記弾性支持部は、 前記基板上に固定された絶縁体からなる下層支持部と、 前記下層支持部上に固定された上層支持部と、 前記基板上面に沿って長い形状を有し、且つ一端部が前記上層支持部に結合され他端部が前記可動電極に結合された梁部と、 を有し、 前記下層支持部は、前記梁部と前記上層支持部との結合部分の直下に位置する部分に空隙部を有することを特徴とする静電容量型加速度センサ。
IPC (2)：
G01P 15/125 ,  H01L 29/84
FI (2)：
G01P15/125 Z ,  H01L29/84 Z
F-Term (13)：
4M112AA02 ,  4M112BA07 ,  4M112CA21 ,  4M112CA22 ,  4M112CA24 ,  4M112CA31 ,  4M112DA02 ,  4M112DA18 ,  4M112EA03 ,  4M112EA06 ,  4M112EA11 ,  4M112FA07 ,  4M112FA09
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (3) Cited by examiner (3)

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