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J-GLOBAL ID：201203075796686767

弾性波デバイス

Inventor： 西原 時弘 ,  谷口 眞司 ,  横山 剛 ,  坂下 武
Applicant, Patent owner： 太陽誘電株式会社
Agent (1)： 片山 修平
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2010245452
Publication number (International publication number)：2012100029
Application date： Nov. 01, 2010
Publication date： May. 24, 2012
Summary：

【課題】損失を抑制すること、または帯域特性を制御することが可能な弾性波デバイスを提供すること。【解決手段】第1圧電膜14と前記第1圧電膜を上下に挟む第1下部電極12および第1上部電極16とを含む第1圧電薄膜共振子10と、前記第1上部電極16上に設けられたデカプラ膜30と、前記デカプラ膜上に設けられ、第2圧電膜24と前記第2圧電膜を上下に挟む第2下部電極22および第2上部電極26とを含む第2圧電薄膜共振子20と、を具備し、前記第1圧電膜および前記第2圧電膜は窒化アルミニウムにより形成されるとともに前記窒化アルミニウムの圧電定数を高める元素を含有する弾性波デバイス。【選択図】図20

Claim (excerpt)：

第1圧電膜と前記第1圧電膜を上下に挟む第1下部電極および第1上部電極とを含む第1圧電薄膜共振子と、 前記第1上部電極上に設けられたデカプラ膜と、 前記デカプラ膜上に設けられ、第2圧電膜と前記第2圧電膜を上下に挟む第2下部電極および第2上部電極とを含む第2圧電薄膜共振子と、 を具備し、 前記第1圧電膜および前記第2圧電膜は窒化アルミニウムにより形成されるとともに前記窒化アルミニウムの圧電定数を高める元素を含有することを特徴とする弾性波デバイス。

IPC (6)：

H03H 9/17 ,  H03H 9/54 ,  H01L 41/09 ,  H01L 41/18 ,  H01L 41/083 ,  H01L 41/24

FI (8)：

H03H9/17 F ,  H03H9/54 Z ,  H01L41/08 C ,  H01L41/08 L ,  H01L41/18 101Z ,  H01L41/08 S ,  H01L41/08 Q ,  H01L41/22 A

F-Term (11)：

5J108AA07 ,  5J108BB08 ,  5J108CC04 ,  5J108CC11 ,  5J108EE03 ,  5J108EE05 ,  5J108EE07 ,  5J108EE13 ,  5J108HH02 ,  5J108HH05 ,  5J108JJ01

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (7)

• 通過帯域幅の制御が可能なスタック形バルク音響共鳴器用帯域フィルタ
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2004-314021   Applicant：アジレント・テクノロジーズ・インク
• 温度補償型薄膜バルク音響共振器デバイス
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2006-319975   Applicant：アジレント・テクノロジーズ・インク
• 制御可能な通過帯域幅を有する減結合スタック型バルク音響共振器の帯域フィルタ
  Gazette classification：公表公報   Application number：特願2006-538364   Applicant：アバゴ・テクノロジーズ・ジェネラル・アイピー(シンガポール)プライベート・リミテッド
• 圧電体薄膜、圧電体およびそれらの製造方法、ならびに当該圧電体薄膜を用いた圧電体共振子、アクチュエータ素子および物理センサー
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2008-098480   Applicant：独立行政法人産業技術総合研究所, 株式会社デンソー
• 圧電薄膜共振子
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2001-141846   Applicant：宇部エレクトロニクス株式会社
• 圧電共振器およびそれを備えた電子部品
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2004-083390   Applicant：TDK株式会社
• バルク音波によって動作する共振器および該共振器を備えた回路
  Gazette classification：公表公報   Application number：特願2004-542360   Applicant：エプコスアクチエンゲゼルシャフト

Cited by examiner (7)

• 通過帯域幅の制御が可能なスタック形バルク音響共鳴器用帯域フィルタ
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2004-314021   Applicant：アジレント・テクノロジーズ・インク
• 温度補償型薄膜バルク音響共振器デバイス
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2006-319975   Applicant：アジレント・テクノロジーズ・インク
• 制御可能な通過帯域幅を有する減結合スタック型バルク音響共振器の帯域フィルタ
  Gazette classification：公表公報   Application number：特願2006-538364   Applicant：アバゴ・テクノロジーズ・ジェネラル・アイピー(シンガポール)プライベート・リミテッド
• 圧電体薄膜、圧電体およびそれらの製造方法、ならびに当該圧電体薄膜を用いた圧電体共振子、アクチュエータ素子および物理センサー
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2008-098480   Applicant：独立行政法人産業技術総合研究所, 株式会社デンソー
• 圧電薄膜共振子
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2001-141846   Applicant：宇部エレクトロニクス株式会社
• 圧電共振器およびそれを備えた電子部品
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2004-083390   Applicant：TDK株式会社
• バルク音波によって動作する共振器および該共振器を備えた回路
  Gazette classification：公表公報   Application number：特願2004-542360   Applicant：エプコスアクチエンゲゼルシャフト