光電子顕微鏡

Inventor： , , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：一色国際特許業務法人
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2011032420
Publication number (International publication number)：2012173008
Application date： Feb. 17, 2011
Publication date： Sep. 10, 2012
Summary：

【課題】試料の実像だけでなく、電子回折像も観察することができる光電子顕微鏡を提供すること。【解決手段】光源からの光を試料に照射することにより前記試料から放出される光電子を対物レンズを介して結像し、拡大像を得る光電子顕微鏡において、前記対物レンズに、2以上の電極を備えさせ、2以上の前記電極を、前記光が2つの電極間を通るように設置する。このような構成をした光電子顕微鏡は、試料の実像だけでなく、電子回折像も観察することができる。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

光源からの光を試料に照射することにより前記試料から放出される光電子を対物レンズを介して結像し、拡大像を得る光電子顕微鏡であって、前記対物レンズは、2以上の電極を備え、 2以上の前記電極は、前記光が2つの電極間を通るように設置されていることを特徴とする光電子顕微鏡。

IPC (4)：

G01N 23/227 , H01J 37/12 , H01J 37/09 , H01J 37/21

FI (4)：

G01N23/227 , H01J37/12 , H01J37/09 A , H01J37/21 Z

F-Term (15)：

2G001AA01 , 2G001AA07 , 2G001AA10 , 2G001BA08 , 2G001BA18 , 2G001CA03 , 2G001DA09 , 2G001GA06 , 2G001GA09 , 2G001LA02 , 2G001PA11 , 2G001SA01 , 5C033BB01 , 5C033CC06 , 5C033MM07

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (5)

検出装置および検出方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2002-332254 Applicant：エルエーオーエレクトローネンミクロスコピーゲーエムベーハー
二重反射電子顕微鏡
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平8-327990 Applicant：フォクスゲゼルシャフトミットベシュレンクテルハフツング
電子顕微鏡
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2002-007387 Applicant：株式会社島津製作所

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Article cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

「放射光光電子顕微鏡によるナノスケール磁性体の磁区構造観察」

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