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J-GLOBAL ID：200903044358410033

検出装置および検出方法

Inventor：
キッペルマイヤー、ライナー

About キッペルマイヤー、ライナー


Applicant, Patent owner：
エルエーオー エレクトローネンミクロスコピー ゲーエムベーハー

About エルエーオー エレクトローネンミクロスコピー ゲーエムベーハー


Agent (1)： 特許業務法人池内・佐藤アンドパートナーズ
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002332254
Publication number (International publication number)：2003208865
Application date： Nov. 15, 2002
Publication date： Jul. 25, 2003
Summary：
【要約】【課題】 単位時間当たりに取得可能な位置情報量が増加した検出装置および方法を提供する。【解決手段】 検出領域(19)に到達した荷電粒子の強度分布を集積して得た位置情報を含む画像を供給する少なくとも1つの位置敏感型検出器(17)と、上記位置敏感型検出器(17)によって供給された上記画像を受け取るための制御器(47)とを備えた検出装置であって、上記検出装置装置には、上記荷電粒子ビーム(5)を上記複数の検出器(17)から選択される1つの検出器(17)の検出領域(19)へと向かわせる偏向器(3)が設けられ、上記偏向器(3)は上記制御器(47)によって制御されて、上記ビーム(5)を向かわせる上記1つの検出器(17)を選択する。
Claim (excerpt)：
荷電粒子ビーム(5)に含まれる位置情報を検出するための検出装置であって、検出領域(19)を有し、前記検出領域(19)に到達した荷電粒子の、その到達位置によって左右される強度分布を、時間という観点において集積して得た位置情報を含む画像を供給する少なくとも1つの位置敏感型検出器(17)と、前記少なくとも1つの位置敏感型検出器(17)によって供給された前記画像を受け取るための制御器(47)とを有し、前記位置敏感型検出器(17)が複数設けられていること、ならびに前記荷電粒子ビーム(5)を前記複数の検出器(17)から選択される1つの検出器(17)の検出領域(19)へと向かわせる偏向器(3)が設けられ、前記偏向器(3)は前記制御器(47)によって制御されて、前記ビーム(5)を向かわせる前記1つの検出器(17)を前記複数の検出器(17)から選択することを特徴とする検出装置。
IPC (3)：
H01J 37/244 ,  G01N 23/225 ,  H01J 37/29
FI (3)：
H01J 37/244 ,  G01N 23/225 ,  H01J 37/29
F-Term (23)：
2G001AA03 ,  2G001AA05 ,  2G001AA07 ,  2G001AA10 ,  2G001BA07 ,  2G001BA08 ,  2G001CA03 ,  2G001DA09 ,  2G001DA10 ,  2G001EA05 ,  2G001FA06 ,  2G001GA04 ,  2G001GA08 ,  2G001GA10 ,  2G001HA13 ,  2G001JA03 ,  2G001KA20 ,  2G001LA11 ,  2G001MA05 ,  5C033NN02 ,  5C033NP05 ,  5C033NP06 ,  5C033NP08
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (6)
  • US 6,184,526 B1
  • US 6,452,190 B1
  • US 5,892,224号
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Cited by examiner (4)
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