複合センサ

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：平井安雄
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2011111403
Publication number (International publication number)：2012242210
Application date： May. 18, 2011
Publication date： Dec. 10, 2012
Summary：

【課題】複数の情報から複合的にセンシングを行うことで高精度の測定を実現することができる複合センサを提供する。【解決手段】平板電極11a、11bと圧電体11cとからなる第1圧電素子11と、第1圧電素子11に対向して配設され、平板電極12a、12bと圧電体12cとからなる第2圧電素子12と、第1圧電素子11と第2圧電素子12との間に挟持され、外力に対して可塑性を有し、密度が略均一である誘電体2と、第1圧電素子11に所定周波数の信号を印加する信号印加部21と、第1圧電素子11から接近する測定対象物20の方向に発振された信号の反射信号を検知する第1の信号検知部22と、第1圧電素子11から第2圧電素子12の方向に発振された信号を検知する第2信号検知部23と、第1圧電素子11の平板電極と第2圧電素子12の平板電極12bとの間の静電容量を検知する静電容量検知部24とを備える。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

平板電極と圧電体とからなる第1の圧電素子と、前記第1の圧電素子に対向して配設され、平板電極と圧電体とからなる第2の圧電素子と、前記第1の圧電素子と前記第2の圧電素子との間に挟持され、外力に対して可塑性を有し、密度が略均一である誘電体と、前記第1の圧電素子に所定周波数の信号を印加する信号印加手段と、前記第1の圧電素子から接近する前記測定対象物の方向に発振された信号の反射信号を、前記第1の圧電素子にて電気信号に変換して検知する第1の信号検知手段と、前記第1の圧電素子から前記第2の圧電素子の方向に発振された信号を、前記第2の圧電素子にて電気信号に変換して検知する第2の信号検知手段と、前記第1の圧電素子の平板電極と前記第2の圧電素子の平板電極との間の静電容量を検知する静電容量検知手段とを備えることを特徴とする複合センサ。

IPC (4)：

G01V 11/00 , G01L 1/14 , G01L 1/04 , G01L 1/16

FI (4)：

G01V11/00 , G01L1/14 J , G01L1/04 , G01L1/16 Z

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (7)

微小電気機械式装置及び半導体装置、並びにそれらの作製方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2006-270280 Applicant：株式会社半導体エネルギー研究所
特開平2-072585
人体検出装置及びそれを用いた水栓装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2008-139093 Applicant：TOTO株式会社