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J-GLOBAL ID：201302223494191427   Reference number：13A1172242

Suppression of Radial Divergence of Extremely Low Energy Ion Beam by an Electron Beam Injection to a Grounded Electrode

接地電極への電子ビーム注入による極低エネルギーイオンビームの放射状発散の抑制

Author (6)： HIRANO Yoichi (National Inst. Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Ibaraki, JPN) ,  KIYAMA Satoru (National Inst. Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Ibaraki, JPN) ,  SAKAKITA Hajime (National Inst. Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Ibaraki, JPN) ,  KOGUCHI Haruhisa (National Inst. Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Ibaraki, JPN) ,  SHIMADA Toshio (National Inst. Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Ibaraki, JPN) ,  SATO Yasuhiro (National Inst. Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Ibaraki, JPN)
Material： Japanese Journal of Applied Physics  (JJAP)
Volume： 52  Issue： 6,Issue 1  Page： 066001.1-066001.6  Publication year： Jun. 25, 2013 
JST Material Number： G0520B  ISSN： 0021-4922  CODEN： JJAPB6  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： United Kingdom (GBR)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： ion beam ,  ion ,  *low energy region ,  *proton beam ,  *beam focusing ,  ion current ,  ion source ,  current density ,  Faraday cup ,  electron irradiation ,  electron beam ,  low energy ion ,  particle beam focusing

JST classification (1)： Electron and ion beams  (BD02030F)

Reference (33)：

• 1) S. Xu, B. K. Tay, H. S. Tan, L. Zhong, Y. Q. Tu, S. R. P. Silva, and W. I. Milne: J. Appl. Phys. 79 (1996) 7234.
• 2) H. Inaba, Y. Kokaku, M. Terakado, and H. Kataoka: Jpn. J. Appl. Phys. 36 (1997) 2817.
• 3) H. Inaba, S. Fujimaki, S. Sasaki, S. Hirano, S. Todoroki, K. Furusawa, M. Yamasaka, and X. Shi: Jpn. J. Appl. Phys. 41 (2002) 5730.
• 4) S. Abe, G. Sato, T. Kaneko, T. Hirata, R. Hatakeyama, K. Yokoo, S. Ono, K. Omote, and Y. Kasama: Jpn. J. Appl. Phys. 45 (2006) 8340.
• 5) N. Yasui, H. Inaba, H. Chiba, X. Yang, and S. P. Lau: Jpn. J. Appl. Phys. 45 (2006) 7854.

Terms in the title (8)： 接地電極 ,  電子ビーム ,  注入 ,  極 ,  低エネルギーイオン ,  ビーム ,  放射状 ,  発散